[发明专利]辊到辊制造设备

权利要求书

1.一种辊到辊制造设备，包括：

供给辊和收集辊，所述供给辊和所述收集辊被配置成在所述供给辊与所述收集辊之间传送膜；

注入板，所述注入板位于所述膜的传送路径上方并且被配置成在相应的工艺区域中将化学处理液注入在所述膜上；

液体阻挡辊，所述液体阻挡辊位于所述相应的工艺区域的上游边界和下游边界处；

空气帘，所述空气帘位于所述相应的工艺区域的上游边界和下游边界处，其中所述空气帘被设置成使得从所述空气帘提供的空气被注入到所述液体阻挡辊上，以及其中所述液体阻挡辊被布置在所述空气帘和相应的工艺区域之间，使得所述液体阻挡辊防止从所述空气帘提供的空气被直接注入至相应的工艺区域内部的化学处理液上；以及

防护构件，所述防护构件被设置在所述相应的工艺区域的上游边界和下游边界处，使得所述防护构件防止从所述注入板注入的所述化学处理液溅至其他工艺区域，并且防止从所述空气帘注入的空气被注入至所述相应的工艺区域，

其中所述相应的工艺区域的下游边界处的液体阻挡辊被设置在所述相应的工艺区域的下游边界处的空气帘和所述相应的工艺区域之间，以及

其中所述相应的工艺区域的下游边界处的防护构件被设置在所述相应的工艺区域的下游边界处的液体阻挡辊和所述相应的工艺区域之间。

2.根据权利要求1所述的辊到辊制造设备，其中，所述注入板包括用于注入显影溶液的显影溶液注入板。

3.根据权利要求1所述的辊到辊制造设备，其中，所述注入板包括用于注入蚀刻溶液的蚀刻溶液注入板。

4.根据权利要求1所述的辊到辊制造设备，其中，所述液体阻挡辊能够上下移动。

5.根据权利要求4所述的辊到辊制造设备，其中，所述液体阻挡辊被配置成至少部分地基于待施加到所述膜的化学处理液的厚度来进行上下移动。