[发明专利]以基本水平的侧视图对扫描探针显微镜的试样和探针之间的间隙成像

权利要求书

1.一种扫描探针显微镜，用于通过使探针(11)和试样(6)相对于彼此移动来分析所述试样(6)，其中所述扫描探针显微镜(1)包括：

检测单元(60)，所述检测单元用于以基本上水平的侧视图检测所述试样(6)和所述探针(11)之间的间隙(62)的图像；

光学系统(68)，所述光学系统至少部分地位于所述间隙(62)和所述检测单元(60)之间，

其中所述光学系统(68)是提供与所述间隙(62)和所述检测单元(60)之间的距离无关的放大率的远心光学系统，并且

其中所述光学系统(68)包括至少一个透镜(70)并且包括孔径(91)，电磁辐射束(66)在传播通过所述间隙(62)之后在到达所述检测单元(60)之前传播通过所述孔径(91)；以及

照射单元(64)，所述照射单元被配置用于用电磁辐射从基本上水平的侧面位置照射所述间隙(62)，

其中所述检测单元(60)和所述照射单元(64)布置成使得所述电磁辐射束(66)从所述照射单元(64)经由所述间隙(62)传播到所述检测单元(60)。

2.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜，其中所述扫描探针显微镜(1)是原子力显微镜。

3.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜，其中处于所述基本上水平的侧视图的所述图像是以相对于水平轴线成小于5°的角度检测的。

4.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜，其中处于所述基本上水平的侧视图的所述图像是以相对于水平轴线成小于2°的角度检测的。

5.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜，包括驱动单元(63)，所述驱动单元被配置用于基于所述间隙(62)的所检测图像移动所述探针(11)和所述试样(6)中的至少一个，以使所述探针(11)和所述试样(6)从一初始距离相互接近直至一最终距离。

6.根据权利要求5所述的扫描探针显微镜，其中所述初始距离是至少3mm。

7.根据权利要求5所述的扫描探针显微镜，其中所述初始距离是至少5mm。

8.根据权利要求5至7中的任一项所述的扫描探针显微镜，其中所述最终距离小于1mm。

9.根据权利要求5所述的扫描探针显微镜，其中所述驱动单元(63)被配置用于移动所述探针(11)和所述试样(6)中的至少一个，以使所述探针(11)和所述试样(6)以第一速度从所述初始距离相互接近直至一中间距离，并且随后以小于所述第一速度的第二速度从所述中间距离相互接近直至所述最终距离。

10.根据权利要求5所述的扫描探针显微镜，其中所述驱动单元(63)被配置用于基于所述间隙(62)的所检测图像来移动所述探针(11)和所述试样(6)中的至少一个，以使所述探针(11)和所述试样(6)以第一速度从所述初始距离相互接近直至一中间距离，并且随后以小于所述第一速度的第二速度从所述中间距离相互接近直至所述最终距离。

11.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜，其中所述检测单元(60)被配置为能够在不重新调整的情况下针对不同大小的试样(6)检测所述间隙(62)的大小。

12.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜，包括下列特征中至少之一：

其中所述检测单元(60)和所述照射单元(64)布置在所述试样(6)和所述探针(11)的相反侧，使得所述电磁辐射从所述照射单元(64)经由所述间隙(62)传播到所述检测单元(60)；

其中所述照射单元(64)被配置用于均匀地照射所述间隙(62)；

其中所述照射单元(64)和所述检测单元(60)之间的光路径是未折叠的线性光路径。