[发明专利]防黏板结构在审
申请号: | 201711178511.2 | 申请日: | 2017-11-23 |
公开(公告)号: | CN109828437A | 公开(公告)日: | 2019-05-31 |
发明(设计)人: | 江昱蔚;阮文兴 | 申请(专利权)人: | 志圣工业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 陈鹏;李静 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 抵压组件 曝光 吹气模块 黏板 控制模块 曝光光源 贴附 透光板体 承载件 吹气 后续作业 曝光装置 承载 穿过 配合 应用 | ||
一种防黏板结构,应用于曝光装置,所述防黏板结构用于对一待曝光件进行曝光作业,防黏板结构包含:抵压组件、曝光光源及至少一个吹气模块。抵压组件包含有透光板体,抵压组件能受控制模块的控制而选择性地向承载件靠近或远离,承载件用于承载待曝光件。曝光光源设置于抵压组件,且曝光光源所产生的光束能穿过透光板体。至少一个吹气模块能受控制模块控制而选择性地吹气。其中,当待曝光件贴附于抵压组件时,控制模块能控制吹气模块吹气,以使待曝光件与抵压组件相互分离。通过所述吹气模块与所述抵压组件的配合,可以有效降低待曝光件在完成曝光作业后,贴附于抵压组件上的机率,以降低因为待曝光件贴附于抵压组件上而造成后续作业上困难的问题。
技术领域
本发明涉及一种防黏板结构,特别是一种应用于电路板曝光装置的防黏板结构。
背景技术
现有的曝光装置,在待曝光件完成曝光后,容易因为各种原因,而使得待曝光件贴附于曝光装置上,如此将导致后续作业的困难。缘此,本发明人经潜心研究并配合理论的运用,而提出一种设计合理且有效改进上述问题的本发明。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种应用于曝光装置的防黏板结构,用于改进现有技术中,待曝光件在完成曝光后,容易贴附于抵压组件上,而造成后续作业困难的问题。
为了实现上述目的,本发明提供一种防黏板结构,其应用于一曝光装置,所述防黏板结构用于对一待曝光件进行曝光作业,防黏板结构包含:一抵压组件、一曝光光源及至少一个吹气模块。抵压组件包含有一透光板体,抵压组件能受一控制模块的控制而选择性地向一承载件靠近或远离,承载件用于承载待曝光件。曝光光源设置于抵压组件,且曝光光源所产生的光束能穿过透光板体。至少一个吹气模块能受控制模块的控制而选择性地吹气。其中,当待曝光件贴附于抵压组件时,控制模块能控制吹气模块吹气,以使待曝光件与抵压组件相互分离。
优选地,所述防黏板结构还包含有至少一个顶针组件,该顶针组件包含有一顶针件,所述顶针件能受所述控制模块的控制而选择性地凸出于所述透光板体,以抵顶贴附于所述抵压组件的所述待曝光件。
优选地,所述抵压组件包含有一光罩,所述光罩能拆卸地设置于所述透光板体,所述光罩具有至少一个避让孔,所述顶针组件能通过所述控制模块能选择性地穿过所述避让孔而凸出于所述透光板体及所述光罩,以抵顶贴附于所述光罩的所述待曝光件,而使所述待曝光件与所述光罩相互分离。
优选地,所述透光板体具有一穿孔,所述穿孔设置成贯穿所述透光板体,所述吹气模块的一出气孔与所述穿孔相互连通;其中,所述顶针组件及所述吹气模块能受控制而同时作动或先后作动,以使所述待曝光件与所述光罩相互分离。
优选地,所述吹气模块的一侧吹气孔位于所述透光板体的一侧,当所述吹气模块受所述控制模块控制时,所述吹气模块能由所述透光板体的一侧向所述透光板体的表面吹出气体;其中,所述顶针组件及所述吹气模块能受所述控制模块的控制而同时作动或先后作动,以使所述待曝光件与所述抵压组件相互分离。
优选地,所述防黏板结构包含有至少两个所述顶针件及两个所述侧吹气孔,两个所述侧吹气孔位于两个所述顶针件之间。
优选地,所述吹气模块包含有一固定结构,所述固定结构固定设置于所述透光板体的一侧,所述固定结构内形成有一气体通道,所述气体通道能导引气体向所述透光板体的表面流动。
优选地,所述透光板体具有一穿孔,所述穿孔设置成贯穿所述透光板体,所述防黏板结构包含有至少两个所述吹气模块,至少一个所述吹气模块定义为一纵向吹气模块,至少一个所述吹气模块定义为一横向吹气模块,所述纵向吹气模块的一出气孔与所述穿孔相互连通,所述横向吹气模块包含有所述固定结构。
优选地,所述透光板体具有一穿孔,所述穿孔设置成贯穿所述透光板体,所述吹气模块的一出气孔与所述穿孔相互连通。
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