[发明专利]一种抛光过程中抛光液大颗粒实时在线监测装置

权利要求书

1.一种抛光过程中抛光液大颗粒实时在线监测装置，其特征在于：包括光学系统、数据采集与处理系统、标定与检验系统和辅助系统；所述光学系统包括观察窗口、激光器、激光发射光路、激光衰减接收光路和激光散射接收光路，所述激光衰减接收光路和激光散射接收光路实现对抛光液中大颗粒光衰减和光散射信号的光电转换；所述数据采集与处理系统包括激光衰减、激光散射信号的采集与处理的模拟与数字电路；所述标定与检验系统利用标准颗粒悬浮液对抛光液大颗粒检测系统进行标定，建立激光衰减、激光散射电信号与标准颗粒已知尺寸之间的关系，确定两种检测方法的相互衔接；所述辅助系统包括抽样系统、清洗系统和气泡消除系统；

所述清洗系统包括搅拌器、抛光液存储罐、泵、去离子水管道、抛光液稀释混合系统、过滤器、第一阀门、抛光设备和第二阀门，所述泵的一端与所述抛光液存储罐相连，所述抛光液存储罐内设置搅拌器，所述泵的另一端与所述抛光液稀释混合系统相连；所述抛光液稀释混合系统接有输送去离子水的管道；所述过滤器一端与抛光液稀释混合系统相连，另一端与第一阀门和第二阀门相连；所述第一阀门与所述抛光设备相连，所述第二阀门与在线监测系统相连；所述过滤器包括过滤杂质的滤网和添加或取出抛光液的进出料口，并且可以调节抛光液的温度到30～60℃；

所述的激光衰减接收光路包括激光器、消色差透镜、样品池、透镜和透射光探测器，所述消色差透镜和样品池沿激光器发射的激光光束的传播方向依次布置，所述的激光器通过消色差透镜聚焦后垂直入射所述样品池；

所述的激光散射接收光路包括激光器、样品池、消色差透镜、透镜和散射光探测器，所述消色差透镜的光轴与所述激光器发射的激光光束传播方向呈45°，以此方向固定消色差透镜，接收来自所述样品池的散射光光束，所述消色差透镜的光轴与所述透镜的光轴重合。

2.如权利要求1所述的一种抛光过程中抛光液大颗粒实时在线监测装置，其特征在于：所述的激光器为波长为532nm的绿光光源，光斑直径为2mm，输出功率为30mW。

3.如权利要求1所述的一种抛光过程中抛光液大颗粒实时在线监测装置，其特征在于：所述的消色差透镜直径为25.4mm、焦距为50mm。

4.如权利要求1所述的一种抛光过程中抛光液大颗粒实时在线监测装置，其特征在于：所述的样品池由蓝宝石、光学玻璃或石英玻璃中的一种材料制造而成，所述样品池为长方体型，所述样品池前后两端均开设有让所述抛光液流通的通道。