[发明专利]一种待切割母板、基板制备方法及基板切割精度检测方法有效
申请号: | 201711181154.5 | 申请日: | 2017-11-23 |
公开(公告)号: | CN107871679B | 公开(公告)日: | 2020-05-26 |
发明(设计)人: | 谢扶政;李埈硕;冯彬峰;刘晓霞;朴美玲 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L23/544;H01L27/32;H01L21/77 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 郭润湘 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 切割 母板 制备 方法 精度 检测 | ||
本发明涉及显示技术领域,公开了一种待切割母板、基板切割方法及基板切割精度检测方法,该待切割母板中,母板本体设有异形部切割线部位的表面设有多组位置标识,多组位置标识沿异形部位切割线的延伸方向分布;其中:每组位置标识包括相对设置的第一标识部和第二标识部,第一标识部和第二标识部之间形成用于异形部切割线穿过的切割线间隙,且第一标识部和第二标识部均形成有沿第一标识部和第二标识部的排列方向分布的刻度标识。上述待切割母板完成切割后,可以通过观察切割边线与刻度标识的相对位置以定量检测产品的切割精度,从而可以有效的评估产品的切割质量以及便于后期分析不良,且直观高效,检测方便。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种待切割母板、基板制备方法及基板切割精度检测方法。
背景技术
目前在OLED显示开发中,面对不同显示装置的使用及要求,需要有不同外形的显示面板,在显示面板制备过程中,需要对基板进行切割,现有技术中,对基板及其组合叠层倒角或异形切割后的外形尺寸进行检测时,主要采用显微镜直接观察,并不能定量的检测切割精度,无法准确评估切割精度以及切割完成后的基板质量,若基板后期发生不良,也无法做出有效评估。
发明内容
本发明提供了一种待切割母板、基板制备方法及基板切割精度检测方法,该待切割母板按切割线完成切割后,可以通过观察切割边线与刻度标识的相对位置以定量检测产品的切割精度,从而可以有效的评估产品的切割质量以及便于后期分析不良,且直观高效,检测方便。
为达到上述目的,本发明提供以下技术方案:
一种待切割母板,包括母板本体,所述母板本体的表面设有切割线,所述切割线包括异形部切割线,所述母板本体设有所述异形部切割线部位的表面设有多组位置标识,多组所述位置标识沿所述异形部位切割线的延伸方向分布;其中:
每组位置标识包括相对设置的第一标识部和第二标识部,所述第一标识部和第二标识部之间形成用于所述异形部切割线穿过的切割线间隙,且所述第一标识部和第二标识部均形成有沿所述第一标识部和第二标识部的排列方向分布的刻度标识;沿第一标识部和第二标识部的排列方向,所述第一标识部的尺寸不小于所述异形部切割线切割时所述第一标识部所在侧的公差尺寸,所述第二标识部的尺寸不小于所述异形部切割线切割时所述第二标识部所在侧的公差尺寸。
上述待切割母板中,母板本体一侧的表面上设有切割线,切割线为产品所需的外形切割线或在母板本体上切割凹槽的凹槽切割线,即,切割线形成的形状按产品需求设置,切割线包括异形部切割线,异形部切割线,即在形成的产品的形成特殊形状的部位的切割线,当对母板进行切割时沿切割线进行切割即可,切割后形成所需产品,以所需产品的外形切割线为例说明,在切割线所在表面上在异形部切割线部位设置多组位置标识,多组位置标识沿异形部切割线的延伸方向分布,每组位置标识包括相对设置的第一标识部和第二标识部,第一标识部和第二标识部之间形成用于异形部切割线穿过的切割线间隙,即,第一标识部和第二标识部分别设置于异形部切割线的两侧,第一标识部和第二标识部均设有沿第一标识部和第二标识部排列方向分布的刻度标识,其中,沿第一标识部和第二标识部的排列方向,第一标识部的尺寸不小于异形部切割线切割时第一标识部所在侧的公差尺寸,第二标识部的尺寸不小于异形部切割线切割时第二标识部所在侧的公差尺寸;当沿切割线对母板切割完毕后,形成所需产品,产品的边侧形成切割边,在异形切割边处,则可以直接观察切割边线与对应的第一标识部或第二标识部中的刻度标识的相对位置,即可获得切割偏差的实际值,以实际值与偏差预设值作比较,实现对切割精度的定量检测,可以较准确的判断产品的切割精度,从而有效的评估产品的切割质量,以及便于后期分析不良,另外,利用上述位置标识检测母板的切割精度直观高效,方便简捷。
因此,上述待切割母板按切割线完成切割后,可以通过观察切割边线与刻度标识的相对位置以定量检测产品的切割精度,从而可以有效的评估产品的切割质量以及便于后期分析不良,且直观高效,检测方便。
优选地,每组位置标识中:
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司,未经京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201711181154.5/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种应用于测深仪的主动波浪补偿装置及方法
- 下一篇:一种带抗磨损舭龙骨的船体
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造