[发明专利]一种硅-蓝宝石压力传感器的温度补偿方法及装置

权利要求书

1.一种硅-蓝宝石压力传感器的温度补偿方法，其特征在于：该方法的步骤如下：

步骤一、标定点获取

对压力传感器给定的温度和压力区间进行均匀分段，确定温度分段点和压力分段点，并对温度分段点和压力分段点进行标定，其中，温度区间的分段点为m个，表示为T₁、T₂…T_m，压力区间的分段点为n个，表示为P₁、P₂…P_n，测量每一个温度区间的分段点T_i(i∈{1、2…m})对应所有压力区间的n个分段点P_j(j∈{1、2…n})的输出电压U_ij；

步骤二、最小二乘线性拟合

利用最小二乘法计算出每一个温度区间的分段点T_i下，压力传感器所受压力与输出电压的线性关系为：

步骤三、补偿区间确定

测量某一温度Tx和压力下的电压输出Ux，其中温度Tx由温度传感器测得，寻找离Tx最近的3个温度分段点Ta、Ta+1、Ta+2(a∈{1、2…m-2})，则Ta～Ta+2为补偿区间，将电压输出Ux代入式(1)中，得到与3个温度分段点Ta、Ta+1、Ta+2对应的温度分段点压力值Pa、Pa+1、Pa+2，即：

步骤四、抛物线插值

利用(Ta,Pa)、(Ta+1,Pa+1)、(Ta+2,Pa+2)三个点确定一条抛物线方程，采用拉格朗日插值法得到抛物线解析式为：

步骤五、补偿后压力值计算

将Tx代入式(3)，得到补偿后的与温度Tx和电压输出Ux对应的压力值Px，即

2.一种用于权利要求1所述硅-蓝宝石压力传感器的温度补偿方法的装置，其特征在于：该装置包括一个硅-蓝宝石压力传感器(1)，硅-蓝宝石压力传感器(1)的引压端上固定一个安装座(4)，安装座(4)前端安装一个引压外壳(3)，引压外壳(3)内部加工有将外部压力引入的通道，在安装座(4)的后端固定一个外壳(5)将硅-蓝宝石压力传感器(1)包围在其内腔中，在安装座(4)上设置一个温度传感器(2)，温度传感器(2)的测量端位于引压外壳(3)内部的通道内。

3.根据权利要求2所述的用于权利要求1所述硅-蓝宝石压力传感器的温度补偿方法的装置，其特征在于：温度传感器(2)为PT100温度传感器。