[发明专利]一种集成电路12寸晶圆全自动传输热处理炉管

权利要求书

1.一种集成电路12寸晶圆全自动传输热处理炉管，包括上壳体（1），其特征在于：所述上壳体（1）底部设有下壳体（2），所述上壳体（1）内部设有热处理炉管（3），所述热处理炉管（3）内部设有承载板（4），所述承载板（4）底部设有温度传感器（5），所述热处理炉管（3）两侧均设有进气管（6），所述热处理炉管（3）一侧面设有加料口（7）以及另一侧面设有测氧管（8），所述加料口（7）侧面设有电子门（9），所述测氧管（8）端部设有氧气含量检测仪（10），所述测氧管（8）底部设有测氮管（11），所述测氮管（11）端部设有氮气浓度检测仪（12），所述测氮管（11）底部设有排气管（13），所述测氧管（8）、测氮管（11）与排气管（13）内部均设有加热管（15），所述测氧管（8）、测氮管（11）与排气管（13）上均设有电磁阀（16），所述热处理炉管（3）底部设有固定底座（14），所述热处理炉管（3）一侧设有床体（17），所述床体（17）上设有传送带（18），所述床体（17）顶部固定设有机械臂（19），所述（360）度晶圆专用机械手臂（19）端部设有电动夹具（20），所述电动夹具（20）端部内侧设有弹性块（21），所述弹性块（21）内部设有压力传感器（22），所述床体（17）顶部设有传送开口（23），所述下壳体（2）内部设有安装座（24），所述安装座（24）上设有氧气罐（25）与氮气罐（26），所述氮气罐（26）设于氧气罐（25）底部，所述氧气罐（25）与氮气罐（26）端部连接有连接管（27），所述连接管（27）端部设有热风机（28），所述下壳体（2）侧面设有检修门（29），所述上壳体（1）侧面设有控制柜（30），所述控制柜（30）内部设有移动终端（31），所述移动终端（31）底部设有单片机（32），所述控制柜（30）顶部设有声光报警器（33）。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路12寸晶圆全自动传输热处理炉管，其特征在于：所述热处理炉管（3）内部采用镜面SUS316材质制成，所述连接管（27）设置为Y形，所述机械臂（19）设置为360度晶圆专用机械手臂，所述测氧管（8）、测氮管（11）与排气管（13）均由保温材料制成。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路12寸晶圆全自动传输热处理炉管，其特征在于：所述进气管（6）设有两个，两个所述进气管（6）倾斜设置在热处理炉管（3）两侧，所述进气管（6）与热风机（28）通过管道连接。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路12寸晶圆全自动传输热处理炉管，其特征在于：所述床体（17）贯穿上壳体（1）侧壁并延伸至上壳体（1）外部，所述传送开口（23）贯穿设于上壳体（1）侧壁。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路12寸晶圆全自动传输热处理炉管，其特征在于：所述温度传感器（5）型号设置为DS18B20，所述氧气含量检测仪（10）型号设置为GAXT-X，所述氮气浓度检测仪（12）型号设置为DJY2000，所述压力传感器（22）型号设置为LPS25HBTR，所述单片机（32）型号设置为M68HC16。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路12寸晶圆全自动传输热处理炉管，其特征在于：所述温度传感器（5）、氧气含量检测仪（10）、氮气浓度检测仪（12）、压力传感器（22）、声光报警器（33）和移动终端（31）均与单片机（32）电性连接。