[发明专利]一种硅微纳米绒面制备方法在审
| 申请号： | 201711187658.8 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN108221056A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 彭奎庆;付浩鑫;勾宪芳;王江;霍晨亮 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学;中节能太阳能科技（镇江）有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B33/12;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微纳米 制备 绒面结构 绒面 金属催化硅腐蚀技术 形貌 拉曼光谱术 太阳能电池 倒金字塔 活性表面 气敏元件 有效结合 规模化 碱腐蚀 衬底 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅微纳米绒面制备方法，其特征在于：所述方法按如下步骤进行，
将表面镀有贵金属颗粒膜的硅片放置在25-80摄氏度含有氧气或臭氧的氢氟酸蒸汽中5-30分钟，将硅片取出放入硝酸溶液中去除贵金属颗粒膜后，浸入碱溶液中腐蚀2-10分钟，即可获得硅微纳米绒面。
2.根据权利要求1所述的一种硅微纳米绒面制备方法，其特征在于，所采用的硅片可以是单晶硅片，也可以是多晶硅片。
3.根据权利要求1所述的一种硅微纳米绒面制备方法，其特征在于，氢氟酸蒸汽中含有氧气或臭氧。
4.根据权利要求1所述的一种硅微纳米绒面制备方法，其特征在于，硅表面的贵金属颗粒膜可以是银颗粒膜，也可以是铜颗粒膜等。
5.根据权利要求1所述的一种硅微纳米绒面制备方法，其特征在于，碱溶液可以是氢氧化钾，也可以是氢氧化钠等碱的水溶液。
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