[发明专利]一种进气机构

权利要求书

1.一种进气机构，用于向腔室内通入反应气体，所述进气机构包括源进气块，所述源进气块设于腔室侧壁上方的凹槽内，所述源进气块的上表面上和所述腔室侧壁的上表面上覆盖有上盖，且所述上盖至少部分覆盖所述源进气块和所述腔室侧壁，所述源进气块与上盖之间、上盖与腔室侧壁之间均采用密封圈进行密封，其特征在于，所述源进气块的下表面与所述凹槽底面之间设有弹性组件，通过调整所述弹性组件的压缩量，以调整所述源进气块与上盖之间密封圈表面的压力，实现源进气块与上盖、上盖与腔室侧壁之间的密封；所述弹性组件包括弹性元件和压杆，所述压杆活动设于源进气块中，所述压杆的下表面与弹性元件的上端接触，所述弹性元件的下端与所述凹槽的底面接触，所述压杆在所述源进气块中上下运动，以调整弹性元件的压缩量。

2.根据权利要求1所述的进气机构，其特征在于，所述压杆与源进气块之间采用螺纹配合。

3.根据权利要求2所述的进气机构，其特征在于，所述压杆的下表面上以及所述凹槽底面上分设有弹性元件限位槽，以防止弹性元件发生侧向移动。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的进气机构，其特征在于，所述弹性元件为压缩弹簧。

5.根据权利要求4所述的进气机构，其特征在于，所述压杆相对于所述源进气块上下运动的距离大于2mm。

6.根据权利要求1所述的进气机构，其特征在于，所述源进气块与所述凹槽之间设有垂直导向机构。

7.根据权利要求6所述的进气机构，其特征在于，所述垂直导向机构为相配合的销轴和销孔、相配合的导轨和滑台或相配合的直线轴承和轴。

8.根据权利要求1所述的进气机构，其特征在于，所述源进气块与所述凹槽之间设有等高限位机构。

9.根据权利要求8所述的进气机构，其特征在于，所述等高限位机构包括穿设于源进气块中的等高限位螺钉和设于所述凹槽底面上并与等高限位螺钉相配合的螺孔。