[发明专利]双压电管嵌套机械并联高稳定扫描器及扫描探针显微镜在审
| 申请号： | 201711188898.X | 申请日： | 2017-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN108089030A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 葛威锋;陆轻铀;张晶 | 申请（专利权）人： | 合肥中科微力科技有限公司;中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电管 嵌套 扫描器 扫描探针显微镜 压电扫描器 高稳定 并联 抗震性 并联结构 恶劣环境 内压电管 扫描成像 外压电管 压电伸缩 有效机械 刚性强 伸长 伸缩 壁厚 共轴 双管 必要条件 坚固 | ||
1.一种双压电管嵌套机械并联高稳定扫描器，包括两个压电管，其特征是所述两个压电管共轴地相互嵌套，套在外面的压电管为外压电管，套在里面的压电管为内压电管，所述外压电管为四象限的XYZ三维定位压电管，内压电管的两端分别与外压电管的两端相互固定，且各压电管上的电容保持不变，形成双管嵌套机械并联结构。
2.根据权利要求1所述双压电管嵌套机械并联高稳定扫描器，其特征是所述内压电管为内表面和外表面均为单一电极的Z方向定位压电管。
3.根据权利要求1所述双压电管嵌套机械并联高稳定扫描器，其特征是所述内压电管为四象限的XYZ三维定位压电管，并且其四个象限分别与外压电管的四个象限相对。
4.根据权利要求1、2、3所述双压电管嵌套机械并联高稳定扫描器，其特征是在所述双压电管机械并联结构的两端分别增设一个固定于内外压电管之间的绝缘环。
5.一种用权利要求1所述的双压电管嵌套机械并联高稳定扫描器制成的扫描探针显微镜，其特征是增设压电马达、导轨、样品架和滑座，所述压电马达和样品架共轴地固定于导轨的两端，所述双压电管嵌套机械并联高稳定扫描器一端固定于滑座上并将该滑座设置于导轨上，构成压电马达驱动滑座沿导轨导向的方向向样品架滑移逼近的结构。
6.一种双压电管嵌套机械并联高稳定扫描器，包括两个压电管，其特征是所述两个压电管共轴地相互嵌套，套在外面的压电管为外压电管，套在里面的压电管为内压电管，所述内压电管为四象限的XYZ三维定位压电管，内压电管的两端分别与外压电管的两端相互固定，且各压电管上的电容保持不变，形成双管嵌套机械并联结构。
7.根据权利要求6所述双压电管嵌套机械并联高稳定扫描器，其特征是所述外压电管为内表面和外表面均为单一电极的Z方向定位压电管。
8.根据权利要求6、7所述双压电管嵌套机械并联高稳定扫描器，其特征是在所述双压电管嵌套机械并联结构的两端分别增设一个固定于内外压电管之间的绝缘环。
9.一种用权利要求6所述的双压电管嵌套机械并联高稳定扫描器制成的扫描探针显微镜，其特征是增设压电马达、导轨、样品架和滑座，所述压电马达和样品架共轴地固定于导轨的两端，所述双压电管嵌套机械并联高稳定扫描器一端固定于滑座上并将该滑座设置于导轨上，构成压电马达驱动滑座沿导轨导向的方向向样品架滑移逼近的结构。
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