[发明专利]晶体管基板、包括其的有机发光显示面板和有机发光显示装置及其制造方法

说明书

本发明公开了晶体管基板、包括该晶体管基板的有机发光显示面板、制造晶体管基板的方法以及包括有机发光显示面板的有机发光显示装置，在晶体管基板中设置有驱动晶体管和开关晶体管，驱动晶体管和开关晶体管各自包括其两端被绝缘层覆盖的氧化物半导体，并且驱动晶体管的栅极和开关晶体管的栅极设置在不同的层上。

本申请要求享有于2016年11月30日提交的韩国专利申请10-2016-0162347的权益。

技术领域

本公开内容涉及一种晶体管基板、包括该晶体管基板的有机发光显示面板和制造该晶体管基板的方法。

背景技术

平板显示(FPD)装置适用于诸如便携式电话、平板电脑(PC)、笔记本电脑等各种电子产品。FPD装置(以下简称为显示装置)的例子包括液晶显示(LCD)装置，有机发光二极管(OLED)显示装置等。近来，电泳显示装置(EPD)被广泛用作一种FPD装置。

作为一种FPD装置(以下简称为显示装置)，有机发光显示装置具有1ms或更短的快速响应时间和低功耗，因此作为下一代显示装置引起了广泛的关注。

图1是图解相关技术的有机发光显示面板的截面的示例图，图2是示出相关技术的有机发光显示面板的驱动晶体管的电流与栅极-源极电压之间的关系的曲线图。图3是图解制造相关技术的有机发光显示面板中包括的薄膜晶体管(TFT)的工艺的示例图，具体而言，是图解形成开关晶体管Tsw的有源部13的方法的示例图。

如图1所示，相关技术的有机发光显示面板包括：连接到栅极线和数据线的开关晶体管Tsw；包括阳极31、发光层32和阴极33的有机发光二极管(OLED)30；和连接到阳极31和开关晶体管Tsw的驱动晶体管Tdr。开关晶体管Tsw的第二电极16连接到数据线，开关晶体管Tsw的第一电极17连接到驱动晶体管Tdr的栅极21，并且开关晶体管sw的栅极15连接到栅极线。为了增加驱动晶体管Tdr的栅极21与阳极31之间的存储电容，在相关技术的有机发光显示面板中，较薄地设定了栅极绝缘层14或绝缘层19的厚度。此外，在相关技术中，如图1所示，金属51用于增加存储电容。

为了提供另外的描述，在开关晶体管Tsw的第一电极17与连接到阳极31的电容电极41之间产生第一电容Ca，并且在第一电极17与金属51之间产生第二电容Cb。第一电容Ca和第二电容Cb构成存储电容。在图1中，由附图标记41表示的两个电容电极被示出为在附图中彼此分离，但实质上彼此电连接。

为了增强开关晶体管Tsw的特性，可减小栅极绝缘层14的厚度。然而，如果栅极绝缘层14的厚度减小，则驱动晶体管Tdr的特性降低。

例如，为了增强开关晶体管Tsw的特性，如果较薄地设定栅极绝缘层14的厚度，则如图2所示，驱动晶体管Tdr导通并因此电流增大的时段的宽度“△Vgs”相当窄。

宽度“△Vgs”变窄表示代表色彩灰度级的电压的宽度变窄。例如，当对应于宽度“△Vgs”的电压被分成256个电压时，实现了256种色彩。

因此，在较薄地设定栅极绝缘层14的厚度方面存在限制。

此外，为了增加存储电容，如图1所示，包括电容电极41和金属51的相关技术的有机发光显示面板额外地需要用于形成电容电极41和金属51的掩模。此外，电容电极41的面积由于接触孔而减小，导致存储电容的容量降低。

此外，如图3所示，由于开关晶体管Tsw的有源部13和驱动晶体管Tdr的有源部22是通过蚀刻绝缘材料14a形成的，所以当进行蚀刻绝缘材料14a的工艺时，颗粒流入，造成缺陷。

例如，如图3的(a)所示，为了制造开关晶体管Tsw，在基板11上沉积缓冲层12，在缓冲层12上形成氧化物半导体13，在氧化物半导体13上沉积绝缘材料14a，在绝缘材料14a上形成栅极15。