[发明专利]一种一键式激活数据收集项目的方法

说明书

本发明公开了一种一键式激活数据收集项目的方法，包括步骤S1：对工艺项目进行量测；步骤S2：将量测后的修正的工艺规格数据输入工艺项目并更新完毕；步骤S3：将维护后的工艺项目的信息更新到总控制台；步骤S4：在与所有工艺项目相连的总控制台处选择维护后的工艺项目；步骤S5：选定多个维护后的工艺项目后，点击冻结激活按键；步骤S6：总控制台一次性向选定的多个维护后的工艺项目发出冻结激活指令；步骤S7：选定的多个维护后的工艺项目收到冻结激活指令，执行冻结激活程序。本发明能减少激活生效时间，使用方便快捷，通过一键控制的方式来完成，系统能自动把所有选择项目执行冻结激活，提高作业效率。

技术领域

本发明涉及一种半导体工艺，尤其涉及一种一键式激活数据收集项目的方法。

背景技术

集成电路生长过程和器件的制造过程中，对每道工艺都必须进行一系列的量测，来判断工艺是否符合标准，每次量测都会根据预设的规格来卡控是否超出标准，进一步调整以下工艺的作业，为了更好的呈现工艺的良率，对工艺中关键制程的尺寸也会越来越紧，每次调整都会进行大量数据的维护，过程复杂而繁琐，最后数据更新完毕之后需要申请者确认精确无误之后，才能激活生效所有项目，每一个项目都必须执行两个步骤，首先是冻结，再是激活，原先我们对数据维护的项目在最后进行冻结激活作业时，只能根据每一个项目做两个操作，冻结再激活，这项数据才能被调用到，如果一整个产品的数据都需要维护的情况下，反复操作不但耗时也有出错的风险。

发明内容

本发明为解决现有技术中的上述问题提供了一种简单快捷，减少繁琐的工程量的一种一键式激活数据收集项目的方法。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种一键式激活数据收集项目的方法，包括

步骤S1：对集成电路生长过程和器件的制造过程中的工艺项目进行量测；

步骤S2：将量测后的修正的工艺规格数据输入工艺项目并更新完毕；

步骤S3：将维护后的工艺项目的信息更新到总控制台；

步骤S4：在与所有工艺项目相连的总控制台处选择维护后的工艺项目；

步骤S5：选定多个维护后的工艺项目后，点击冻结激活按键；

步骤S6：总控制台一次性向选定的多个维护后的工艺项目发出冻结激活指令；

步骤S7：选定的多个维护后的工艺项目收到冻结激活指令，执行冻结激活程序。

为了进一步优化上述技术方案，本发明所采取的技术措施为：

优选的，所述步骤S4中的选定维护后的工艺项目的具体操作为：

步骤S41：在操作面板上选择项目名称或数据维护人员菜单；

步骤S42：进入项目名称或数据维护人员菜单后点选维护后的工艺项目；

优选的，步骤S3中所述维护后的工艺项目的信息包括工艺项目的具体运行时间、转速、温度、大气压数据。

优选的，步骤S3中所述维护后的工艺项目的信息还包括具体的维护时间信息。

优选的，步骤S42中所述数据维护人员菜单下的维护后的工艺项目以维护时间分类。

优选的，所述步骤S42中所述项目名称菜单下的维护后的工艺项目以维护时间分类。

优选的，所述步骤S42中所述项目名称菜单下的维护后的工艺项目以工艺种类进行分类。

优选的，所述步骤S42中所述项目名称菜单下的维护后的工艺项目以首字母名称进行分类。

本发明采用上述技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：