[发明专利]一种制备镀膜玻璃的方法及装置

权利要求书

1.一种制备镀膜玻璃的方法，其特征在于，包括以下步骤：

将前驱物溶解在合适的溶剂中，形成源溶液，利用超声波为雾化源，将源溶液转变为微米级的雾滴，其后将小雾滴输运至反应室中进行镀膜反应。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述的反应室的工作温度在350℃～600℃之间。

3.一种利用权利要求1的方法制备镀膜玻璃的装置，其特征在于：包括超声雾化模块和反应室；

所述反应室为顶部设有进气口的钟罩形，其侧面设有管状排气口，且该排气口连接有抽气泵；反应室内置有沉积基板。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于：

所述的超声雾化模块包括超声发生器、雾化室以及连通所述雾化室与反应室的气路；

所述的超声发生器以去离子水为介质，其内置有超声波振动子，所述雾化室的底部伸入所述超声发生器内并与所述去离子水接触；

所述的雾化室由可拆卸的物料杯和物料盖组成，物料杯连通有载气风机；

所述气路与所述反应室连通的一端设有镀膜喷嘴。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于：

所述的镀膜喷嘴为圆柱形玻璃管，安装于所述气路末端，其外壁采用铝箔纸进行包裹，底部为设有喷缝的塑料圆片，喷缝外加装有挡流板。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于：

所述的沉积基板与塑料圆片间的距离为2mm～25mm。

7.根据权利要求3所述的装置，其特征在于：

所述的超声雾化模块包括带有涡轮旋片的超声波喷头和安装有质量流量计的蠕动泵；

所述的超声波喷头伸入所述反应室的进气口，所述蠕动泵将物料送到所述超声波喷头。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于：

所述的超声波喷头的振动频率为10MHz。

9.根据权利要求7所述的装置，其特征在于：

所述的反应室内设有滚动式加热台。

10.根据权利要求3所述的装置，其特征在于：

所述的反应室的外壁采用铝箔纸包裹。