[发明专利]单泵双端泵浦绿光激光器在审
申请号: | 201711193290.6 | 申请日: | 2017-11-24 |
公开(公告)号: | CN107742819A | 公开(公告)日: | 2018-02-27 |
发明(设计)人: | 任戬;刘猛;刘健 | 申请(专利权)人: | 深圳市杰普特光电股份有限公司 |
主分类号: | H01S3/094 | 分类号: | H01S3/094;H01S3/109;H01S3/115;H01S3/117 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人: | 石佩 |
地址: | 518100 广东省深圳市龙华新区观澜*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单泵双端泵浦绿光 激光器 | ||
技术领域
本发明涉及激光技术,特别是涉及一种单泵双端泵浦绿光激光器。
背景技术
激光是近代科学技术中的重大发明之一,其中,532nm绿光激光应用于冷加工领域,在非金属以及精密加工中的应用价值尤其突出。随着全球对精细加工的需求日益增加,使得绿光激光器的应用领域不断扩大。现有的532nm绿光激光器常使用单端面泵浦的工作方式,然而单端面泵浦仅能满足低功率的应用需求,在高平均输出功率的应用下,单端面泵浦往往使激光器中的激光晶体往往因吸收泵浦光后受热不均而开裂,导致532nm绿光激光器无法在高输出功率下稳定运行。
发明内容
基于此,本发明提供一种采用单泵双端泵浦,可满足高功率532nm绿光激光输出要求的单泵双端泵浦绿光激光器。
为了实现本发明的目的,本发明采用以下技术方案:
一种单泵双端泵浦绿光激光器,包括泵浦源、准直透镜、半透半反镜、第一全反镜、第一聚焦透镜、第二全反镜、第三全反镜、第二聚焦透镜、激光晶体、第一端镜、第二端镜、转折镜、第一尾端镜、第二尾端镜、调Q晶体、二倍频晶体、分光镜、及第四全反镜;所述泵浦源用于发出泵浦光;所述泵浦源发出的泵浦光经所述准直透镜后变成平行的光线,然后经过所述半透半反镜,一部分泵浦光在所述半透半反镜上发生反射,另一部分泵浦光透射过所述半透半反镜;所述第一端镜、所述第二端镜、所述转折镜、所述第一尾端镜、及所述第二尾端镜构成谐振腔;所述激光晶体设有第一入射端、及第二入射端;所述第一聚焦透镜、所述激光晶体、及所述第二聚焦透镜位于所述第一全反镜与所述第三全反镜之间;所述第一端镜位于所述第一聚焦透镜与所述激光晶体之间,所述第二端镜位于所述第二聚焦透镜与所述激光晶体之间;所述转折镜与所述第一端镜相对设置;所述调Q晶体、所述二倍频晶体、所述分光镜位于所述第二端镜与所述第二尾端镜之间;在所述半透半反镜上反射出的泵浦光,经过所述第一全反镜反射后平行进入所述第一聚焦透镜,所述第一全反镜反射出的泵浦光经过所述第一聚焦透镜聚焦,并从所述第一入射端入射所述激光晶体;透射过所述半透半反镜的泵浦光依次被所述第二全反镜、所述第三全反镜反射,所述第三全反镜反射出的泵浦光经过所述第二聚焦透镜聚焦,并从所述第二入射端入射所述激光晶体;泵浦光从两端入射所述激光晶体后,在谐振腔内产生1064nm基频连续光;通过所述调Q晶体调节,得到在所述谐振腔内来回反射的1064nm脉冲光;沿所述转折镜到所述第一尾端镜的方向,1064nm脉冲光经所述第一尾端镜反射后沿原路返回;沿所述第二端镜到所述第二尾端镜的方向,1064nm脉冲光经过所述调Q晶体及所述分光镜后,射入所述二倍频晶体内,产生倍频效应,部分1064nm脉冲光转化为532nm的绿光,转化得到的532nm绿光和剩余的1064nm脉冲光经过所述第二尾端镜反射,再一次经过所述二倍频晶体,又有一部分1064nm脉冲光转化为532nm的绿光;所有的转化所得的532nm绿光与剩余的1064nm脉冲光一同经过所述分光镜,所述分光镜反射532nm绿光、透射1063nm脉冲光,1064nm脉冲光透射过所述分光镜后沿原路返回;532nm激光被所述分光镜反射到所述第四全反镜上,再经所述第四全反镜反射后输出。
本发明的单泵双端泵浦绿光激光器通过从激光晶体的两端射入泵浦光,使在总输出功率要求不变的条件下,激光晶体单端因吸收泵浦光而所产生的热量下降,泵浦光在激光晶体上产生的热量在激光晶体两侧均匀分布,避免了激光晶体因单端受热而开裂的问题,有利于532nm绿光激光器的高功率运行。
在其中一个实施例中,所述半透半反镜反射50%泵浦光、透射50%泵浦光。
在其中一个实施例中,所述第一聚焦透镜将泵浦光聚焦在所述激光晶体内且与所述第一入射端相距1~2mm处,所述第二聚焦透镜将泵浦光聚焦在所述激光晶体内且与所述第二入射端相距1~2mm处。
在其中一个实施例中,所述准直透镜为平凸透镜,所述半透半反镜与所述准直透镜的凸面相对设置并相对于所述准直透镜的平面倾斜。
在其中一个实施例中,所述第一全反镜、所述第二全反镜、及所述第三全反镜为808nm或880nm高反的镜片。
在其中一个实施例中,所述第一端镜、所述第二端镜为808nm或880nm增透、1064nm高反的镜片;所述第一尾端镜为1064nm高反的镜片;所述第二尾端镜为1064nm和532nm高反的镜片;所述转折镜为1064nm高反的镜片。
在其中一个实施例中,所述调Q晶体为声光Q晶体、或电光Q晶体。
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