[发明专利]一种高效率纳米材料真空镀膜机

说明书

本发明公开了一种高效率纳米材料真空镀膜机，包括主泵、排气机构与机身，所述机身的下端活动安装有万向轮，且机身的前端外表面中间位置处设置有操作面板，所述操作面板的外表面固定安装有主泵开关，所述操作面板的外表面靠近主泵开关的一侧设置有辅助泵开关，且操作面板的外表面靠近主泵开关的另一侧设置有急停按钮，所述主泵固定安装在机身的上端外表面，所述主泵的上端外表面固定安装有玻璃钟罩，且主泵的下端外表面固定安装有辅助泵。该高效率纳米材料真空镀膜机，通过蒸发电源的蒸发电极的追加，可以实现同时蒸镀和多层蒸镀，解决了现有的生产效率低、产品组分均匀性不好的问题，同时排气装置易于移动，方便人员操作。

技术领域

本发明涉及机械设备领域，具体为一种高效率纳米材料真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜，传统的蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证，具体可以调控的因素有许多，譬如基片材料与靶材的晶格匹配程度、基片表面温度、蒸发功率与速率、真空度等，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好，从而对镀膜产品的质量以及生产效率造成一定的影响。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种高效率纳米材料真空镀膜机，解决了现有的生产效率低、产品组分均匀性不好的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种高效率纳米材料真空镀膜机，包括主泵、排气机构与机身，所述机身的下端活动安装有万向轮，且机身的前端外表面中间位置处设置有操作面板，所述操作面板的外表面固定安装有主泵开关，所述操作面板的外表面靠近主泵开关的一侧设置有辅助泵开关，且操作面板的外表面靠近主泵开关的另一侧设置有急停按钮，所述主泵固定安装在机身的上端外表面，所述主泵的上端外表面固定安装有玻璃钟罩，且主泵的下端外表面固定安装有辅助泵，所述主泵的一侧外表面固定安装有一号不锈钢波纹管，且主泵的一侧外表面靠近玻璃钟罩的上方固定安装有主泵真空表，所述一号不锈钢波纹管的下方设置有三通阀门，所述玻璃钟罩的下端外表面靠近主泵的一侧固定安装有单向阀门，且玻璃钟罩的内部中间位置处设置有基板，所述玻璃钟罩靠近下端的四周固定安装有维修孔，相邻两组所述维修孔之间设置有蒸发电极，所述蒸发电极通过嵌入式对称安装在玻璃钟罩的内部，所述维修孔的一侧分别设置有真空计孔与真空密封孔；

所述机身的内部靠近辅助泵的一侧设置有蒸发电源，所述排气机构设置在机身的内部靠近辅助泵的另一侧，所述蒸发电源的前端外表面设置有蒸发电源开关，所述蒸发电源的前端外表面靠近蒸发电源开关的一侧固定安装有蒸发电源提手，且蒸发电源的前端外表面靠近蒸发电源开关的另一侧固定安装有显示屏，所述蒸发电源的前端外表面靠近蒸发电源开关的下方设置有散热孔，所述蒸发电源的前端外表面靠近显示屏的下方设置有参数调节键，所述排气机构的下方设置有底座，且排气机构的下端设置有脚轮，所述机身的后端外表面靠近排气机构的位置处固定安装有排气口。

可选的，所述万向轮的数量为四组，且其平行设置，所述万向轮的内部均设置有制动片。

可选的，所述操作面板的四周均设置有固定螺栓，且操作面板通过固定螺栓与机身固定连接，所述操作面板外表面靠近上方的位置处固定安装有设备铭牌，所述主泵开关、辅助泵开关与急停按钮的上方均设有与之对应的指示灯。

可选的，所述辅助泵的一侧外表面固定安装有辅助泵真空表，且辅助泵的另一侧外表面设置有二号不锈钢波纹管，所述二号不锈钢波纹管与一号不锈钢波纹管的出口端与三通阀门连接。