[发明专利]一种压力控制系统及控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及压力控制技术领域，具体涉及一种压力控制系统及控制方法。

背景技术

真空热处理设备中由于工艺过程需要，在某一阶段需要稳定控制压力。目前的压力控制系统只能实现小范围内的压力稳定控制。为实现较大范围的压力控制，常用的解决方法为增大进气量。

但通过增大进气量的方式仍存在以下缺陷：1)压力控制范围增加的幅度小，仍无法满足现阶段压力控制范围的需求；2)由于进气一般选择惰性气体，进气量增大，会导致成本增加。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种控制范围大，且成本低的压力控制系统及控制方法。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种压力控制系统，包括真空室、气源、多级真空泵组和控制单元；其中，所述真空室通过进气管路与所述气源连通，且所述进气管路上设有进气阀；所述真空室通过抽气管路与所述多级真空泵组连通，且所述抽气管路上设有高真空阀；所述进气阀、高真空阀与多级真空泵组分别与所述控制单元连接，所述控制单元根据目标控制压力的大小，控制所述多级真空泵组的抽速，以实现所述真空炉内的压力调节。

其中，所述多级真空泵组包括低抽速泵组与高抽速泵组，所述低抽速泵组、高抽速泵组和高真空阀依次连接。

其中，所述高真空阀的进气口与所述低抽速泵组的进气口之间设有前级管路，所述前级管路上设有预抽阀，所述低抽速泵组与高抽速泵组之间的连接管路上设有前级阀，所述预抽阀和所述前级阀分别与所述控制单元连接。

其中，所述低抽速泵组包括第一真空泵和第二真空泵，所述高抽速泵组包括第三真空泵。

其中，所述高真空阀与所述真空室的连接管路上设有第一旁通管，所述第一旁通管上设有第一放空阀。

其中，所述第一真空泵与所述第二真空泵之间的连接管路上设有第二旁通管，所述第二旁通管上设有第二放空阀。

其中，还包括流量计和压力计，所述流量计设于所述进气管路上，用于控制进气量，所述压力计用于检测所述真空室的压力，且所述流量计和所述压力计分别与所述控制单元连接。

其中，所述抽气管路上还设有比例阀，所述比例阀与所述控制单元连接。

本发明还提供一种压力控制方法，包括以下步骤：

获取目标控制压力；根据所述目标控制压力与预设值，控制所述高抽速泵组与所述低抽速泵组的启闭，具体如下：

若所述目标控制压力高于所述预设值，则所述高抽速泵组关闭，所述低抽速泵组开启；若所述目标控制压力低于所述预设值，则所述高抽速泵组与所述低抽速泵组均开启。

其中，还包括：采集所述真空室的实时压力；根据所述实时压力与目标控制压力，控制所述进气管路上的流量计，具体如下：

若所述实时压力高于所述目标控制压力，则减小所述流量计的开启度；若所述实时压力低于所述目标控制压力，则增大所述流量计的开启度。

(三)有益效果

与现有技术相比，本发明具有如下优点：

本发明提供一种压力控制系统及控制方法，通过气源和多级真空泵组向真空室内充放气，控制真空室内的压力，并避免在热处理过程中，真空室内温度变化对压力造成影响。另外，控制单元根据目标控制压力的大小，控制多级真空泵组的抽速，以实现真空炉内的压力调节；抽速大时，抽气量增大，进而使真空室内的压力维持在较低的范围；抽速小时，抽气量减小，进而提高真空室内的压力；一方面，无需改变进气量，成本低；另一方面，多级真空泵组的抽速可调范围大，能够大幅度的调节真空室的压力，进而使目标控制压力范围变大。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些图获得其他的附图。

图1为本发明一种压力控制系统的结构示意图；

图2为本发明一种压力控制方法的流程示意图；

附图标记说明

1-真空室；2-气源；3-第一真空泵；4-第二真空泵；5-第三真空泵；6-预抽阀；7-高真空阀；8-前级阀；9-进气阀；10-流量计；11-压力计；12-第一放空阀；13-第二放空阀。

具体实施方式