[发明专利]一种柔性阵列基板及其制作方法

说明书

本发明提供了一种柔性阵列基板及其制作方法，所述阵列基板包括玻璃基板、柔性衬底基板、缓冲层、有源层、栅绝缘层、第一金属层、间绝缘层、柔性有机层、第二金属层以及钝化层；其中，所述柔性有机层包括至少两个第一过孔，所述第一过孔依次穿过所述间绝缘层、所述栅绝缘层以及所述缓冲层。有益效果：通过在相邻的薄膜晶体管之间设置连续的所述第一过孔，并在所述第一过孔中填充所述柔性有机材料，使得所述柔性显示面板具有更强的耐弯折性，保证了所述柔性显示面板在小曲率半径下的显示效果。

技术领域

本发明涉及显示面板制造领域，尤其涉及一种柔性阵列基板及其制作方法。

背景技术

随着显示技术的不断发展，研发人员开发出了可折叠或卷起的柔性显示装置，与传统的刚性显示装置(即制作在玻璃等不可弯曲的基材上的显示装置)相比，柔性显示装置具有诸多优势，如重量轻、体积小、携带更为方便；更高的耐冲击性以及更强的抗震性能。随着显示技术的不断发展，柔性显示装置因其自身的可弯曲、可折叠特性，越来越多的应用于曲面显示领域、可穿戴显示领域等，因此，也成为近年来显示领域的关注热点。

柔性显示面板又称为可卷曲显示器，是用柔性材料制成可视柔性面板而构成的可弯曲变形的显示装置。柔性显示面板是显示技术领域的最热趋势之一。虽然它还没有被上市普及，但可以预见，卷轴式的PDA或者电子书阅读器已经不再遥远，而大幅面的壁挂柔性显示面板也将会很快成为现实。例如，所有可视资料，包括各种书籍、报纸、杂志和视频文件都可以通过这种显示器来呈现，而且可以随时随地观看。柔性电子显示器具有无可比拟的优势，它就像报纸一样，在需要时将其展开，使用完毕后将其卷曲甚至折叠，在保证携带方便的同时充分的兼顾了视觉效果。

柔性显示成为了目前显示的潮流，其体积小，可塑性强，携带方便，形式灵活。然而要做到可以任意弯折的柔性显示装置，还有很多问题需要克服，当曲率半径做到足够小时，弯折时，无机膜层的应力变大，且不能有效释放，严重可能导致膜层不可修复的损坏，这种影响对于显示器来说非常大，需要找到一种可靠的方法，将产生的应力及时释放。

发明内容

本发明提供一种柔性阵列基板及其制作方法，以解决目前的柔性显示装置在弯折时，柔性显示装置的无机膜层的应力将变大，且不能有效的释放而导致膜层的不可修复的损坏，从而影响柔性显示装置显示效果的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提出了一种柔性阵列基板，所述柔性阵列基板包括：

玻璃基板；

柔性衬底基板，形成于所述玻璃基板的表面；

缓冲层，形成于所述柔性衬底基板的表面；

有源层，形成于所述缓冲层的表面；

栅绝缘层，形成于所述有源层的表面，所述栅绝缘层将所述有源层与所述缓冲层覆盖；

第一金属层，形成于所述栅绝缘层表面，所述第一金属层经图案化处理，形成薄膜晶体管的栅极与栅线；

间绝缘层，形成于所述第一金属层表面，所述间绝缘层将所述第一金属层与所述栅绝缘层覆盖；以及

柔性有机层，形成于所述间绝缘层表面；

第二金属层，形成于所述柔性有机层表面，所述第二金属层经图案化处理，形成源电极和漏电极，所述源电极包括第二过孔，所述漏电极包括第三过孔；

钝化层，形成于所述第二金属层表面；

其中，所述柔性阵列基板还包括至少两个第一过孔，所述第一过孔中所填充的材料与所述柔性有机层的材料相同。

根据本发明一优选实施例，所述柔性有机层是通过对沉积于所述间绝缘层表面上的柔性有机材料进行图案化处理，并保留经过图案化处理的所述柔性有机材料的至少一部分来形成的；