[发明专利]一种大型重载超精密卧式空心气浮转台

说明书

一种大型重载超精密卧式空心气浮转台，属于大型超精密工件的加工技术领域。主轴的一端与副轴通过主轴修研环连接，主轴与副轴同轴设置，主轴外侧沿轴向装有两个气浮轴承，两个气浮轴承与主轴同轴设置且二者之间留有间隙，两个气浮轴承通过花岗岩基座支撑，花岗岩基座内部设有多个相互连通的通气孔，每个气浮轴承内部设有多个相互连通的气槽，设置在花岗岩基座内部的多个通气孔与外部气源连通的同时，还与每个气浮轴承的多个气槽连通，电机转子座固定装在主轴另一端上，直驱电机的定子部分通过电机定子座固定在花岗岩基座上，直驱电机的转子部分安装在电机转子座上，圆光栅和绝对值圆光栅均安装在电机定子座上。本发明用于大型超精密工件的加工。

技术领域

本发明涉及一种气浮转台，属于大型超精密工件的加工技术领域。

背景技术

随着我国科技不断的发展，超精密学科在高精尖行业的应用越来越广泛，而特别是超精密大型转台的应用与日俱增，例如光学、超精密调试、BSRF同步辐射专用光运行、实验室级别微调、大型超精密工件的加工等，都需要使用超精密大型转台，原有的机械转台精度达不到要求，现有的气浮转台大多数体积比较小，载荷达不到要求。

发明内容

本发明的目的是为解决上述技术问题，提供一种大型重载超精密卧式空心气浮转台。

本发明利用气浮原理，配合工装进行装调，并使用直驱电机与圆光栅保证气浮转台精度。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

一种大型重载超精密卧式空心气浮转台，其组成包括直驱电机、主轴、电机转子座及电机定子座，所述的直驱电机包括定子部分和转子部分，所述的主轴水平设置，所述的大型重载超精密卧式空心气浮转台还包括圆光栅、绝对值圆光栅、花岗岩基座、主轴修研环、副轴及两个气浮轴承；

主轴的一端与副轴通过主轴修研环连接，主轴与副轴同轴设置，主轴外侧沿轴向装有两个气浮轴承，所述的两个气浮轴承与主轴同轴设置，且两个气浮轴承与主轴之间均留有间隙，两个气浮轴承通过花岗岩基座支撑，所述的花岗岩基座内部设有多个相互连通的通气孔，每个气浮轴承内部设有多个相互连通的气槽，设置在花岗岩基座内部的多个通气孔与外部气源连通的同时，还与每个气浮轴承的多个气槽连通，所述的电机转子座固定装在主轴另一端上，所述的直驱电机的定子部分通过电机定子座固定在花岗岩基座上，直驱电机的转子部分安装在电机转子座上，所述的圆光栅和绝对值圆光栅均安装在电机定子座上。

本发明相对于现有技术的有益效果是：

1、主轴承载力大（可承载1吨承载力），精度高，重复定位精度0.12″，可以满足实验室级别的应用。

2、运转速度可调（通过直驱电机），经过改装可以当做超精密加工的高速主轴使用，并且具备更大的加工范围；

3、具备副轴，可以前后安装工件，实现同步运动。

综上，本发明采用UMAC运动控制器（外部装置）控制直驱电机，并使用圆光栅和绝对值圆光栅实现最终的精度要求，主轴重复定位精度可达到0.12″，扭矩＞1300N∙m，主轴和副轴两端均可安装物体，实现同步运动。

附图说明

图1是本发明的整体结构的主剖视图；

图2是图1的A处局部放大图；

图3是本发明外形的主视图；

图4是图3的左视图；

图5是图1的B处局部放大图。

图中各部件名称及标号如下：

1、直驱电机；2、电机转子座；3、圆光栅；4、绝对值圆光栅；5、主轴；6、气浮轴承；7、电机定子座；8、花岗岩基座；9、主轴修研环；10、副轴；11、通气孔；12、气槽。