[发明专利]一种压块触发装置和环氧树脂真空低压封装工艺方法在审
申请号: | 201711212852.7 | 申请日: | 2017-11-28 |
公开(公告)号: | CN107958857A | 公开(公告)日: | 2018-04-24 |
发明(设计)人: | 李杰;金龙;宋哲宇 | 申请(专利权)人: | 北方电子研究院安徽有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/56 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司32224 | 代理人: | 耿英,董建林 |
地址: | 233040*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 触发 装置 环氧树脂 真空 低压 封装 工艺 方法 | ||
1.一种压块触发装置,其特征是,包括压块、活动销和气缸;压块上部具有一滑杆,活动销前端可嵌入至滑杆侧面的燕尾槽中;活动销末端通过连杆与气缸中的活塞相连,由活塞的运动带动活动销嵌入滑杆中或从滑杆中退出。
2.根据权利要求1所述的一种压块触发装置,其特征是,还包括一对所述滑杆的滑动进行导向的导轨。
3.根据权利要求2所述的一种压块触发装置,其特征是,所述活动销前端穿过导轨嵌入至滑杆侧面的燕尾槽中。
4.根据权利要求1所述的一种压块触发装置,其特征是,置于抽真空的环境中时,气缸中的气体推动活塞运动,通过连杆带动活动销从滑杆侧面的燕尾槽中退出,使压块失去阻挡在重力作用下下落。
5.根据权利要求4所述的一种压块触发装置,其特征是,所述压块下方为一壳体,壳体上盖有一预先涂敷并固化环氧树脂的盖板;所述壳体和盖板置于同一抽真空的烘箱中。
6.根据权利要求5所述的一种压块触发装置,其特征是,所述壳体为陶瓷外壳或金属外壳;所述盖板为陶瓷盖板、玻璃盖板或金属盖板。
7.基于权利要求1所述的压块触发装置的环氧树脂真空低压封装工艺方法,其特征是,包括以下步骤:
将预先涂敷并固化环氧树脂的盖板盖于壳体上;
将带有盖板的壳体与压块触发装置放置于真空烘箱中;烘箱升温,到达设定温度后对烘箱进行抽真空并由压块触发装置触发压块下落至盖板上对盖板进行施压,再升温到峰值固化温度进行固化。
8.根据权利要求7所述的环氧树脂真空低压封装工艺方法,其特征是,预先固化温度低于峰值固化温度50℃~70℃。
9.根据权利要求7或8所述的环氧树脂真空低压封装工艺方法,其特征是,环氧树脂预先固化温度:80℃~125℃。
10.根据权利要求7或8所述的环氧树脂真空低压封装工艺方法,其特征是,环氧树脂峰值固化温度:150℃~175℃。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北方电子研究院安徽有限公司,未经北方电子研究院安徽有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201711212852.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种实验室用汽化蚀刻设备
- 下一篇:硅片湿刻装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造