[发明专利]一种氯硅烷废气处理方法

权利要求书

1.一种氯硅烷废气处理方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：向一级淋洗塔及淋洗水池内通入氮气，将一级淋洗塔及淋洗水池内的空气排出；

步骤2：向净水池中放入清水，准备喷淋废气用水；

步骤3：分别调制好包含石灰乳、絮凝剂和助凝剂的药剂，备用；

步骤4：利用熟石灰加药系统向淋洗水池中放入石灰乳碱液，准备循环喷淋用水；

步骤5：依次开启气动阀、淋洗塔喷淋泵及石灰乳加药泵后，再开启进废气阀，使废气依次经过文丘里喷射器、一级淋洗塔、二级淋洗塔淋洗后，经水封罐排至火炬焚烧系统；

步骤6：开启淋洗水池出水阀，淋洗废水排至中和池，中和池废水加石灰乳中和后，再经提升泵提升，与预先备好的絮凝剂和助凝剂混合，至废水净化器，净化器出水自流至净水池，循环利用；

步骤7：净化器底部污泥定时排至污泥池，污泥池的污泥经浓缩后，再由污泥泵提升至板框压滤机干化处理，干泥外运处置。

2.根据权利要求1所述的一种氯硅烷废气处理方法，其特征在于，所述一级淋洗塔及淋洗水池淋洗以湿法将废气中的有害物质从气流中转移到液体中，均采用石灰乳进行淋洗。

3.根据权利要求2所述的一种氯硅烷废气处理方法，其特征在于，所述一级淋洗塔用于对废气中残余的氯硅烷气体和氯化氢气体吸收，一级淋洗塔采用两层喷淋淋洗工艺，淋洗塔采用防腐蚀材料玻璃钢制成，废气自下而上流动。

4.根据权利要求3所述的一种氯硅烷废气处理方法，其特征在于，所述二级淋洗塔对经过一级淋洗塔淋洗后排出的废气进行二级吸收，二级淋洗塔采用一层喷淋淋洗工艺，淋洗塔采用防腐蚀材料玻璃钢制成，二级淋洗塔填料选用50mm鲍尔环，填料1层，层高度不低于1.2m，气体由下向上流动，淋洗液由上向下喷淋。

5.根据权利要求1所述的一种氯硅烷废气处理方法，其特征在于，所述熟石灰加药系统由熟石灰料仓、石灰输送机、石灰溶解箱、石灰储存箱和石灰加药泵组成，熟石灰料仓的仓顶部设置布袋除尘器，熟石灰料仓的仓内设有料位计；石灰输送机采用螺旋式输送机。

6.根据权利要求1所述的一种氯硅烷废气处理方法，其特征在于，所述文丘里喷射器与至少两台循环泵连接，循环泵使循环水具有一定压力、流速进入文丘里喷射器的集水室，形成高速射流，使文丘里喷射器的混合室产生真空。

7.根据权利要求1所述的一种氯硅烷废气处理方法，其特征在于，所述淋洗水池、中和池和污泥池均采用环氧树脂防腐，淋洗水池的循环泵出口管道上设有一回路，中和池中设有pH测定仪，pH值控制在6-9之间，根据pH值调节石灰乳的添加量，污泥池中设有浓缩刮泥机，所述浓缩刮泥机包括工作桥、传动装置、稳流筒、传动轴、拉杆、小刮板、刮泥板和刮臂。

8.根据权利要求1所述的一种氯硅烷废气处理方法，其特征在于，所述絮凝剂为PAC，所述助凝剂为PAM。

9.根据权利要求8所述的一种氯硅烷废气处理方法，其特征在于，所述步骤6中，当净化器出水电导率达到50000μS/cm时，排至三效蒸发系统蒸发处理，净水池再补充新鲜水。

10.根据权利要求1所述的一种氯硅烷废气处理方法，其特征在于，所述步骤7中，污泥池溢流水和板框压滤机压滤水经地沟排至中和池处理，所述一级淋洗塔、所述二级淋洗塔和所述淋洗水池均采用全密封结构。