[发明专利]多功能超快激光微细加工系统及其方法

权利要求书

1.多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：超快激光器（A）输出端设有倍频模块（B），超快激光器（A）为皮秒激光器或纳秒激光器，倍频模块（B）输出端有三个波段的出光口，其第一波段输出光路（B1）上设有第一光路传输模组，第一光路传输模组包含第一偏振转换装置（C1）以及第一扩束镜（E1），第一偏振转换装置（C1）位于第一波段输出光路（B1）上，第一扩束镜（E1）位于第一偏振转换装置（C1）的输出端，第二波段输出光路（B2）上设有第二光路传输模组，第一光路传输模组和第二光路传输模组输出的光路上设有合束镜（F），光束经合束镜（F）合为一束使其处于同一光路上，合束镜（F）输出端依次设有第一光路切换装置（G1）、第二光路切换装置（G2）和第三光路切换装置（G3），第三波段输出光路（B3）上设有第三光路传输模组，第三光路传输模组输出的光束处于另一光路上，第三光路传输模组输出端依次设有第四光路切换装置（G4）、第五光路切换装置（G5）和第六反射镜（D6），第四光路切换装置（G4）、第五光路切换装置（G5）和第六反射镜（D6）的中心在垂直方向上分别与第一光路切换装置（G1）、第二光路切换装置（G2）和第三光路切换装置（G3）的中心对齐，第一光路切换装置（G1）垂直射出端光路上设有第一光阑（H1），第二光路切换装置（G2）垂直射出端光路上设有第二光阑（H2），第三光路切换装置（G3）垂直射出端光路上设有第三光阑（H3），第一光阑（H1）输出端设有多光束并行加工模块（I），第二光阑（H2）输出端设有三维扫描振镜加工模块（J），第三光阑（H3）输出端设有钻孔加工模块（K）。

2.根据权利要求1所述的多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：所述第一偏振转换装置（C1）与第一扩束镜（E1）之间设有反射镜（D1），镀有1030nm高反膜。

3.根据权利要求1所述的多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：所述第二光路传输模组包含第二偏振转换装置（C2）以及第二扩束镜（E2），第二偏振转换装置（C2）位于第二波段输出光路（B2）上，第二扩束镜（E2）位于第二偏振转换装置（C2）的输出端。

4.根据权利要求3所述的多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：所述第二偏振转换装置（C2）与第二扩束镜（E2）之间设有反射镜（D2），镀有515nm高反膜。

5.根据权利要求1所述的多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：所述合束镜（F）为双波段镜片，透射输入端镀有515nm增透膜，反射输出端镀有1030nm高反膜以及515nm增透膜。

6.根据权利要求1所述的多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：所述第三光路传输模组包含第三偏振转换装置（C3）以及第三扩束镜（E3），第三偏振转换装置（C3）位于第三波段输出光路（B3）上，第三扩束镜（E3）位于第三偏振转换装置（C3）的输出端。

7.根据权利要求6所述的多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：所述第三偏振转换装置（C3）与第三扩束镜（E3）之间设有反射镜（D3），镀有343nm高反膜。

8.根据权利要求1所述的多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：所述第一光路切换装置（G1）、第二光路切换装置（G2）、第三光路切换装置（G3）、第四光路切换装置（G4）以及第五光路切换装置（G5）均包含反射镜、步进电机和导轨，反射镜置于导轨上，步进电机驱动其在导轨上移动，控制光路的切进与切出；当反射镜切进光路时，光束于反射镜中心处反射输出；当反射镜切出光路时，反射镜未阻碍光束，光束通过。