[发明专利]一种基于内含钕化物软质磨料固着磨具的蓝宝石晶片抛光方法

权利要求书

1.一种内含钕化物的软质磨料固着磨具的蓝宝石晶片抛光方法，其特征在于：所述研磨方法包括以下步骤：

1)内含钕化物软质磨料固着磨具原料的配制：纳米二氧化硅40％～60％、粘结剂20％～40％、固化剂10％～15％、钕化物5％～10％、其余为去离子水；

2)内含钕化物软质磨料固着磨具的制作：在去离子水中加入固化剂，并搅拌使其溶解，随后加入结合剂、纳米二氧化硅、钕化物，将其搅拌均匀；将配置好的配料在模具中热压成形，脱模后完成热固化，并对其上下端面进行修整，保证磨具上下端面的平整度和平行度；

3)内含钕化物软质磨料固着磨具对蓝宝石晶片的抛光：将内含钕化物的软质磨料固着磨具安装于抛光机的上盘，待加工的蓝宝石晶片放置在会旋转的抛光机下盘，用夹具固定住，启动抛光机，并在上下盘之间注入水基冷却液；内含钕化物的软质磨料固着磨具上的钕化物和二氧化硅磨粒对蓝宝石面进行划擦并发生固相反应，实现对蓝宝石晶片的抛光。

2.如权利要求1所述的内含钕化物的软质磨料固着磨具的蓝宝石晶片抛光方法，其特征在于：在所述步骤3)中，在压力和相对速度的作用下，钕化物既是一种催化剂，降低了蓝宝石晶片与二氧化硅反应所需的能量，同时作为反应物又可与磨料和蓝宝石材料发生固相反应，生成一层软质的、易去除的反应生成物层，并利用后续磨料与生成物层之间的摩擦作用将生成物层去除，从而实现蓝宝石晶片的抛光。

3.如权利要求1或2所述的含钕化物的软质磨料固着磨具的蓝宝石晶片抛光方法，其特征在于：所述粘接剂为氧化镁。

4.如权利要求1或2所述的含钕化物的软质磨料固着磨具的蓝宝石晶片抛光方法，其特征在于：所述固化剂为氯化镁、酚醛-缩醛树脂或酚醛-环氧树脂。

5.如权利要求1或2所述的含钕化物的软质磨料固着磨具的蓝宝石晶片抛光方法，其特征在于：所述纳米二氧化硅的粒度为80～100nm。

6.如权利要求1或2所述的含钕化物的软质磨料固着磨具的蓝宝石晶片抛光方法，其特征在于：所述钕化物为硝酸钕、氯化钕、氧化钕或氟化钕。