[发明专利]一种分压力质谱计校准装置及方法

权利要求书

1.一种分压力质谱计校准装置，其特征在于，主要由微调阀(1)、活塞压力计(2)、配样室(4)、多个高纯气瓶、电容薄膜真空计(6)、一级进样室(13)、二级进样室(21)、采样室、小孔(22)、校准室(24)、分离规(44)及抽气系统构成；其中

所述配样室(4)分别与活塞压力计(2)、电容薄膜真空计(6)相连，所述配样室(4)还通过微调阀(1)与相互并联的多个高纯气瓶相连；电容薄膜真空计(6)用于测量各种引入气体的压力p₀₁、p₀₂…，活塞压力计(2)用于测量配样室(4)的总压力p₀；所述配样室(4)与一级进样室(13)之间并联多个体积互不相同的采样室，所述一级进样室(13)与二级进样室(21)之间并联多个体积互不相同的采样室，所述二级进样室(21)依次串联小孔(22)、校准室(24)；所述校准室(24)分别与待校准的分压力质谱计(41)和分离规(44)相连；所述配样室(4)、一级进样室(13)、二级进样室(21)及校准室(24)均与抽气系统相连。

2.根据权利要求1所述分压力质谱计校准装置，其特征在于，所述抽气系统包括第一抽气系统、第二抽气系统和第三抽气系统。

3.根据权利要求1所述分压力质谱计校准装置，其特征在于，所述微调阀(1)为超高真空全金属微调阀。

4.根据权利要求1所述分压力质谱计校准装置，其特征在于，所述活塞压力计(2)测量精度为读数的0.0015％。

5.根据权利要求1所述分压力质谱计校准装置，其特征在于，所述相连各部件之间的管路上设有阀门，所述阀门均为超高真空全金属角阀。

6.根据权利要求1所述分压力质谱计校准装置，其特征在于，所述的配样室(4)为SUS316L不锈钢球形结构，体积为10L。

7.根据权利要求1所述分压力质谱计校准装置，其特征在于，所述电容薄膜真空计(6)测量范围为10^-2Pa—10⁵Pa，测量精度为读数的0.08％。

8.根据权利要求1所述分压力质谱计校准装置，其特征在于，并联于配样室(4)和一级进样室(13)之间的采样室有3个。

9.根据权利要求1所述分压力质谱计校准装置，其特征在于，并联于一级进样室(13)和二级进样室(21)之间的采样室有3个。

10.根据权利要求8所述分压力质谱计校准装置，其特征在于，并联于配样室(4)和一级进样室(13)之间的3个采样室为SUS316L不锈钢球形结构，体积分别为1L、0.1L、0.01L。

11.根据权利要求9所述分压力质谱计校准装置，其特征在于，并联于一级进样室(13)和二级进样室(21)之间的3个采样室为SUS316L不锈钢球形结构，体积分别为1L、0.1L、0.01L。

12.根据权利要求1所述分压力质谱计校准装置，其特征在于，所述一级进样室(13)和二级进样室(21)为SUS316L不锈钢卧式结构，体积为100L。

13.根据权利要求1所述分压力质谱计校准装置，其特征在于，所述小孔(22)的衰减比为1/100000。

14.根据权利要求1所述分压力质谱计校准装置，其特征在于，所述校准室(24)为SUS316L不锈钢双球室结构，极限真空度小于10^-9Pa。

15.根据权利要求14所述分压力质谱计校准装置，其特征在于，所述分离规(44)测量下限为10^-10Pa。