[发明专利]CMOS图像传感器光谱响应空间辐射损伤的测试设备及其方法

权利要求书

1.一种CMOS图像传感器光谱响应空间辐射损伤的测试设备，包括可调光源（1）、滤波轮（7）和三维样品调整台（8），其特征在于，所述测试设备还包括导光筒（2）、积分球（5）、标准探测器（6）和遮光板（3）；所述可调光源（1）放置于导光筒（2）内，所述导光筒（2）的出光口与所述积分球（5）的入光口连接，所述遮光板（3）可运动地设置于所述积分球（5）侧面入光口，用于调节进入所述积分球（5）的光通量，所述标准探测器（6）放置于所述积分球（5）内壁上，用于实时监控由所述积分球（5）的光窗输出的均匀光的辐照度，所述滤波轮（7）上安装有不同波长的滤波片；所述可调光源（1）发出的光依次通过所述导光筒（2）、所述积分球（5）、所述滤波片，到达所述三维样品调整台（8）上的待测CMOS图像传感器。

2.根据权利要求1所述的CMOS图像传感器光谱响应空间辐射损伤的测试设备，其特征在于，所述积分球（5）侧壁上设置有固定光源（4）。

3.根据权利要求1所述的CMOS图像传感器光谱响应空间辐射损伤的测试设备，其特征在于，所述可调光源（1）为溴钨灯。

4.根据权利要求1所述的CMOS图像传感器光谱响应空间辐射损伤的测试设备，其特征在于，所述固定光源（4）为溴钨灯。

5.根据权利要求1所述的CMOS图像传感器光谱响应空间辐射损伤的测试设备，其特征在于，所述遮光板（3）通过步进电动机带动进行运动。

6.基于权利要求1所述CMOS图像传感器光谱响应空间辐射损伤的测试设备的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，使光通过所述积分球（5）和所述滤波轮（7）上波长为λ的滤光片后，得到波长λ的单色光，调整所述三维样品调整台（8），使所述波长λ的单色光照射到待测CMOS图像传感器的光敏面上，所述待测CMOS图像传感器采集图像；

步骤二，使光通过所述滤波片上不同波长的滤光片来改变所述单色光的波长λ的值，所述待测CMOS图像传感器采集相应的图像；

步骤三，根据以下公式计算所测CMOS图像传感器的响应度：

其中，R_λ为所测CMOS图像传感器接收波长λ单色光时的响应度；V为所述标准探测器（6）的输出信号；R为所述标准探测器（6）波长λ的定标值；A_S为所述标准探测器（6）的面积；I_λ为单色光波长为λ时所述标准探测器（6）的输出电流；A_d为被测器件像元面积；T为积分时间；绘制波长λ与响应度R_λ的关系曲线一；

步骤四，用高能粒子辐照步骤一至三所测CMOS图像传感器后，重复步骤一至三的操作，得到辐照后的响应度R_λ^’，以及波长λ与响应度R_λ^’的关系曲线二；

步骤五，比对所述曲线一和所述曲线二，得到所测CMOS图像传感器受到高能粒子辐照后光谱响应的空间辐射损伤；

步骤六，调节所述可调光源（1）和/或所述遮光片，重复步骤一至步骤五。