[发明专利]提高激光器寿命和发光效率的方法在审
| 申请号： | 201711223176.3 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN108039645A | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 谢圣文;杨成奥;张宇;牛智川 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/028 | 分类号： | H01S5/028;C23C14/30 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤宝平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 提高 激光器 寿命 发光 效率 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种提高激光器寿命和发光效率的方法，包括如下步骤：
步骤1：通过电子束热蒸发方式在激光器管芯两端面分别生长高反膜和增透膜；
步骤2：生长完高反膜和增透膜之后，将激光器管芯迅速置入快速热退火设备中；
步骤3：提前设定好热退火条件，进行热退火；
步骤4：冷却至室温。
2.根据权利要求1所述的提高激光器寿命和发光效率的方法，其中热退火分为三步，第一步是5秒钟由室温升到150℃，停留10秒钟。
3.根据权利要求2所述的提高激光器寿命和发光效率的方法，其中热退火第二步是5秒钟由150℃升至200℃，停留120秒钟。
4.根据权利要求2所述的提高激光器寿命和发光效率的方法，其中热退火第三步是5秒钟由200摄氏度降至50℃，停留10秒钟。
5.根据权利要求1所述的提高激光器寿命和发光效率的方法，其中热退火后冷却至室温。
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