[发明专利]涂布液供给装置

说明书

一种涂布液供给装置(3)，包括：收容涂布液的收容容器(5)；在收容容器(5)内沿轴向移动，使收容于收容容器(5)的涂布液从收容容器(5)吐出的杆(6)；以及将收容于收容容器(5)的涂布液(P)与杆(6)隔离，以与杆(6)形成封闭空间即封入空间(9)的方式安装于杆(6)，并且相对于杆(6)的轴向移动进行伸缩的波纹管构件(8)，在封入空间(9)封入有液体(W)。

技术领域

本发明涉及一种适用于涂布装置的涂布液供给装置。

背景技术

以往，已知一种作为表涂布机等的涂布液抽吸、吐出用泵的杆型注射泵。但是，上述泵在杆的滑动部分使用有O形环等，需要考虑涂布液的微量的泄漏、固接的可行性。因此，如专利文献1所示，在O形环的外侧还包括涂布液回收室，但是结构会变得复杂且大型，此外，涂布液回收室和杆最终是由O形环来密封的，需要考虑同样的技术问题。在此，如专利文献2的波纹管58所示，提供一种利用波纹管构件的伸缩，使涂布液与杆的滑动部分不会接触的泵。此外，作为采用波纹管构件的注射泵，一般而言，是如专利文献3所示的构件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2008－161740号公报

专利文献2：日本专利特开2011－14732号公报

专利文献3：日本专利特开昭60－261464号公报

但是，波纹管构件由金属、合成树脂的薄片而形成，因此当波纹管构件的单面受到压力时，波纹管构件会产生隆起等弹性变形。此外，在使用有如上所示的波纹管构件的泵中，波纹管构件的单面暴露在大气压下。因此，存在当涂布液吐出时将杆压入，因上述杆的压入压力导致波纹管构件产生变形、杆的压入量(体积)与吐出的涂布液的量不一致、涂布量发生变动导致难以在基材上厚度均匀地进行涂布这样的技术问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种能够提高涂布液的涂布量的精度的涂布液供给装置。

本发明包括：收容涂布液的收容容器；杆，该杆在上述收容容器内沿轴向移动，使收容于上述收容容器的涂布液从上述收容容器吐出；以及波纹管构件，波纹管构件将收容于上述收容容器的涂布液与上述杆隔离，以与上述杆形成封闭空间即封入空间的方式安装于上述杆，并且相对于上述杆的轴向移动进行伸缩，在上述封入空间中，封入有液体。

根据上述结构，通过将液体封入至封入空间，从而即使受到由杆的轴向移动引起的压力，封入空间的体积也不会发生变化，能够防止波纹管构件产生变形，因而由杆的轴向移动而导致的、收容容器内的体积的变化量与吐出的涂布液的量一致。因此，能够提高涂布液的涂布量的精度。

此外，较为理想的是，本发明还包括以下结构。

(1)上述封入空间具有形成于上述杆的外周面与上述波纹管构件的内表面之间的第一空间，当上述波纹管构件的伸缩导致上述第一空间的体积发生增减时，上述封入空间具有能够使封入至上述封入空间的液体移动的调整空间。

(2)在上述结构(1)中，在上述杆的前端部，安装有能相对于上述杆的前端沿轴向移动的突出构件，上述波纹管构件的前端安装于上述突出构件，上述调整空间的一部分由上述杆的前端和上述突出构件形成。

(3)在上述结构(1)中，上述波纹管构件的轴向中间部安装于上述杆的前端，上述波纹管构件的前端部是封闭的，上述调整空间由上述杆的前端和上述波纹管构件的前端部形成。

(4)在上述结构(1)～(3)中的任一个结构中，上述调整空间的一部分经由形成于上述杆的内部的空间，与上述第一空间连通。

(5)在上述结构(1)～(4)中的任一个结构中，上述液体在上述第一空间的体积处于最大的状态下，被封入至上述封入空间。