[发明专利]一种硅片的滑道检测方法及装置

权利要求书

1.一种硅片的滑道检测方法，其特征在于，所述方法包括：

在硅片图像中的硅片区域中，将灰度值大于预设灰度阈值的像素点确定为第一像素点；

基于霍夫变换和所述第一像素点，确定所述硅片区域中的每条第一直线段；针对每条第一直线段，确定该第一直线段上每个第二像素点的梯度方向，针对所述每个第二像素点，根据该第二像素点的梯度方向，确定位于该梯度方向上的该第二像素点对应的线外点；根据每个第二像素点和对应的线外点在所述硅片图像中的灰度值，确定该第一直线段的平均内外灰度差；

确定第一直线段中的目标直线段，根据目标直线段的平均内外灰度差，确定目标直线段的滑道参数值，判断所述滑道参数值是否大于预设的阈值，如果是，确定该目标直线段为滑道。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于霍夫变换和所述第一像素点，确定所述硅片区域中的每条第一直线段之后，针对每条第一直线段，确定该第一直线段上每个第二像素点的梯度方向之前，所述方法还包括：

针对每条第一直线段，根据该第一直线段上每个像素点在所述硅片图像中的灰度值，将该第一直线段上每个像素点进行排序，将灰度值小的预设数量的像素点作为第二像素点。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据目标直线段的平均内外灰度差，确定目标直线段的滑道参数值包括：

针对每条目标直线段，确定该目标直线段的聚集度，根据该目标直线段的平均内外灰度差、聚集度、平均内外灰度差对应的第一权重值和聚集度对应的第二权重值，确定该目标直线段的滑道参数值；

将平均内外灰度差与对应的第一权重值的乘积，聚集度与对应的第二权重值的乘积的和，作为该目标直线段的滑道参数值。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据目标直线段的平均内外灰度差，确定目标直线段的滑道参数值包括：

针对每条目标直线段，确定该目标直线段的聚集度，并识别该目标直线段的长度，根据该目标直线段的平均内外灰度差、聚集度、长度、平均内外灰度差对应的第三权重值、聚集度对应的第四权重值和长度对应的第五权重值，确定该目标直线段的滑道参数值；

将平均内外灰度差与对应的第三权重值的乘积，聚集度与对应的第四权重值的乘积，长度与对应的第五权重值的乘积的和，作为该目标直线段的滑道参数值。

5.如权利要求3或4所述的方法，其特征在于，所述确定第一直线段中的目标直线段包括：

识别每条第一直线段的方向，针对每条第一直线段，判断是否存在与该第一直线段方向相同的第二直线段；

如果否，将该第一直线段作为一个直线段组中的目标直线段；

如果是，判断是否存在与该第一直线段方向相同，且间距小于预设的距离阈值的第三直线段，如果存在，将所述第三直线段和该第一直线段作为一个子直线段组中的直线段；如果任意两个子直线段组中包含至少一条相同的直线段，则将该任意两个子直线段组合并，得到每个直线段组；针对每个直线段组，识别该直线段组中每条直线段的长度，将长度最大的直线段作为该直线段组中的目标直线段；如果不存在与该第一直线段的间距小于预设的距离阈值的第三直线段，将该第一直线段作为一个直线段组中的目标直线段。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述针对每条目标直线段，确定该目标直线段的聚集度包括：

针对每条目标直线段，确定该目标直线段所属的直线段组，根据该目标直线段所属的直线段组中包含的直线段数量，确定该目标直线段的聚集度。