[发明专利]一种蒸镀用ITO颗粒的制备方法及由该方法制备的ITO颗粒

权利要求书

1.一种蒸镀用ITO颗粒的制备方法，所述ITO颗粒具有氧化铟单相结构，锡完全固溶在氧化铟晶格中，所述ITO颗粒的晶粒尺寸为5μm~15μm，其中5μm~10μm的颗粒占80%以上，相对密度为55~65%，纯度为99%以上，其特征在于，包括在无压烧结炉中进行如下步骤：（1）将ITO坯体在氧气流动环境中，以10~100℃/h的升温速率加热至180-240℃，再以10~30℃/h的升温速率加热至400-600℃，升温结束后保温1~4h；（2）在氧气流动环境中，以100~200℃/h的升温速率加热至1300~1500℃进行无压氧气烧结，烧结时间为1~10h，得到ITO颗粒；

所述无压烧结炉中氧气流量为5~50L/min；

所述ITO坯体是通过将In₂O₃粉体、SnO₂粉体混合添加水和分散剂制得浆料后，先后经过球磨混合、喷雾造粒、金属模具压制成型后制备得到的；

所述In₂O₃粉体的BET比表面积为12m²/g~14m²/g ，平均粒径为20~200nm；所述SnO₂粉体的BET比表面积为10 m²/g~12m²/g ，平均粒径为40~400nm。

2.根据权利要求1所述的蒸镀用ITO颗粒的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，以60~100℃/h的升温速率加热至200-220℃，再以10~30℃/h的升温速率加热至500-600℃，升温结束后保温1~2h。

3.根据权利要求1所述的蒸镀用ITO颗粒的制备方法，其特征在于， 所述In₂O₃粉体与SnO₂粉体的质量比为 (85~98)：(15~2)，所述浆料的固含量为30~75wt%，所述球磨过程中采用ZrO₂球作为研磨介质进行球磨混合，控制浆料与ZrO₂球的质量比为1:(1~5)，球磨转速10~100转/min，研磨时间1~20h。

4.根据权利要求1所述的蒸镀用ITO颗粒的制备方法，其特征在于，采用钢模或硬质合金模进行ITO坯体的压制成型，模具直径为8~34mm，成型压力为10~30MPa，保压时间为0.5~2min。

5.根据权利要求1所述的蒸镀用ITO颗粒的制备方法，其特征在于，所述分散剂为聚丙烯酸酯的水溶液，其质量分数为10~80wt%；所述喷雾造粒过程中需加入粘结剂，所述粘结剂为聚乙烯醇的水溶液，其质量分数为2~20wt%。