[发明专利]一种涡轮叶片的化学气相沉积Co-Al的方法有效
| 申请号： | 201711228745.3 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN107858662B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 张铁磊;崔启政;李宏然;王烜烽 | 申请（专利权）人： | 无锡透平叶片有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/08 | 分类号： | C23C16/08;C23C16/56;C23C16/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 214174 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 涡轮 叶片 化学 沉积 co al 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种涡轮叶片的化学气相沉积Co-Al的方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)将叶片进行遮蔽并装夹在主反应器上；
(2)将主反应器抽真空，通入Ar加压后再加热通H2；
(3)将CoCl2气体通入主反应器进行渗Co；
(4)加热外部Al反应器并通入HCl，产物通入主反应器进行渗Al；
(5)主反应器通入H2进行扩散热处理，再通入Ar冷却后取下叶片；
步骤(3)所述CoCl2气体的来源包括：
(1’)以无水CoCl2粉末为原料加热液化再气化得到；
(2’)由HCl通入放有高纯Co粒的反应器加热产生；
步骤(2)所述加压的压力为100-500mbar；步骤(2)所述加热的温度为900-1050℃；
步骤(1’)所述液化的温度为140-160℃；步骤(2’)所述加热的温度为950-1000℃；
步骤(3)所述渗Co的反应时间为120-360min；
步骤(4)所述加热的温度为300-330℃；步骤(4)所述渗Al的时间为120-240min；
步骤(5)所述热处理的处理时间为2-4h；步骤(5)所述热处理的处理温度为980-1050℃。
2.一种根据权利要求1所述方法沉积得到的渗Co-Al涡轮叶片。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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