[发明专利]硬掩模用组合物在审
| 申请号： | 201711230827.1 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108227385A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 梁敦植;梁振锡;崔汉永 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;钟海胜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 碳原子数 硬掩模 亚烷基 脂肪族 耐热性 烷基 芳香族化合物 连接化合物 氧原子取代 耐蚀刻性 聚合物 平坦性 亚甲基 溶剂 芳基 | ||
1.一种硬掩模用组合物，其包含碳原子数6～20的芳香族化合物、下述化学式1所表示的连接化合物的聚合物、和溶剂，
化学式1
化学式1中，R1和R2各自独立地为碳原子数1～3的烷基、或碳原子数6～10的芳基，
X为碳原子数2～10的脂肪族亚烷基、或者至少一个亚甲基被氧原子取代的碳原子数2～10的脂肪族亚烷基，
a和b各自为0～2的整数，a与b之和为2。
2.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述芳香族化合物包含芘结构。
3.根据权利要求2所述的硬掩模用组合物，所述芳香族化合物包含下述化学式2所表示的化合物，
化学式2
4.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述化学式1中，X为碳原子数2～5的脂肪族亚烷基、或者至少一个亚甲基被氧原子取代的碳原子数2～5的脂肪族亚烷基。
5.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述聚合物包含下述化学式3～化学式5所表示的结构中的至少一种，
化学式3
化学式4
化学式5
化学式3～5中，Ar、Ar1、Ar2和Ar3各自独立地为碳原子数6～20的亚芳基；或者被碳原子数1～6的烷基、羟基、甲氧基或苯基取代的碳原子数6～20的亚芳基，
R1、R2、R3、R4、R5和R6各自独立地为碳原子数1～3的烷基、或碳原子数6～10的芳基，
X为碳原子数2～10的脂肪族亚烷基、或者至少一个亚甲基被氧原子取代的碳原子数2～10的脂肪族亚烷基，
n、m和l各自为1～200的整数。
6.根据权利要求5所述的硬掩模用组合物，在所述化学式1中a为2且b为0的情况下，所述聚合物包含所述化学式3的结构。
7.根据权利要求5所述的硬掩模用组合物，在所述化学式1中a为1且b为1的情况下，所述聚合物包含所述化学式4的结构。
8.根据权利要求5所述的硬掩模用组合物，在所述化学式1中a为0且b为2的情况下，所述聚合物包含所述化学式5的结构。
9.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，其进一步包含交联剂、催化剂和表面活性剂中的至少一种。
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