[发明专利]显影液的成分浓度测定装置及显影液管理装置在审
申请号: | 201711232431.0 | 申请日: | 2017-11-29 |
公开(公告)号: | CN108344778A | 公开(公告)日: | 2018-07-31 |
发明(设计)人: | 中川俊元 | 申请(专利权)人: | 株式会社平间理化研究所 |
主分类号: | G01N27/06 | 分类号: | G01N27/06;G01N21/31;G03F7/30 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王婷 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显影液 成分浓度测定装置 显影液管理装置 运算部 光致抗蚀剂 显影性能 多变量 解析法 二氧化碳 溶解 关联 吸收 管理 | ||
1.一种显影液的成分浓度测定装置,其中,
所述显影液的成分浓度测定装置具备:
测定部,其对与反复使用且显现碱性的显影液的成分浓度具有关联的所述显影液的多个特性值进行测定;
运算部,其基于由所述测定部测定出的所述多个特性值并利用多变量解析法来算出所述显影液的成分浓度;以及
显示部,其显示由所述测定部测定出的所述特性值及由所述运算部算出的所述成分浓度中的至少任一方。
2.一种显影液的成分浓度测定装置,其中,
所述显影液的成分浓度测定装置具备:
测定部,其对与反复使用且显现碱性的显影液的成分浓度具有关联的所述显影液的多个特性值反复进行测定;
运算部,其在所述测定部每次对所述多个特性值进行测定时,基于由所述测定部测定出的所述多个特性值并利用多变量解析法来算出所述显影液的成分浓度;
测定数据存储部,其将由所述运算部算出的所述成分浓度与时刻及测定开始起算的经过时间中的至少任一方一起存储;以及
显示部,其将存储于所述测定数据存储部的成分浓度的数据以存储于所述测定数据存储部的时刻或测定开始起算的经过时间为指标来图表显示。
3.一种显影液的成分浓度测定装置,其中,
所述显影液的成分浓度测定装置具备:
测定部,其对与反复使用且显现碱性的显影液的成分浓度具有关联的所述显影液的多个特性值反复进行测定;
运算部,其在所述测定部每次对所述多个特性值进行测定时,基于由所述测定部测定出的所述多个特性值并利用多变量解析法来算出所述显影液的成分浓度;
测定数据存储部,其将由所述测定部测定出的所述特性值及由所述运算部算出的所述成分浓度与时刻及测定开始起算的经过时间中的至少任一方一起存储;以及
显示部,其将存储于所述测定数据存储部的特性值及成分浓度中的至少任一方以存储于所述测定数据存储部的时刻或测定开始起算的经过时间为指标来图表显示。
4.根据权利要求3所述的显影液的成分浓度测定装置,其中,
所述显影液的成分浓度测定装置还具备显示切换机构,所述显示切换机构将显示于所述显示部的图表切换为所述显影液的特性值的图表或者所述显影液的成分浓度的图表。
5.一种显影液管理装置,其中,
所述显影液管理装置具备:
测定部,其对与反复使用且显现碱性的显影液的成分浓度具有关联的所述显影液的多个特性值进行测定;
运算部,其基于由所述测定部测定出的所述多个特性值并利用多变量解析法来算出所述显影液的成分浓度;
显示部,其显示由所述测定部测定出的所述特性值及由所述运算部算出的所述成分浓度中的至少任一方;以及
控制部,其基于从由所述测定部测定的所述显影液的多个特性值及由所述运算部算出的所述显影液的成分浓度中选择的管理对象项目的测定值或算出值,向控制阀发送控制信号,所述控制阀设置在用于输送向所述显影液补给的补充液的管路上。
6.一种显影液管理装置,其中,
所述显影液管理装置具备:
测定部,其对与反复使用且显现碱性的显影液的成分浓度具有关联的所述显影液的多个特性值反复进行测定;
运算部,其在所述测定部每次对所述多个特性值进行测定时,基于由所述测定部测定出的所述多个特性值并利用多变量解析法来算出所述显影液的成分浓度;
测定数据存储部,其将由所述运算部算出的所述成分浓度与时刻及测定开始起算的经过时间中的至少任一方一起存储;
显示部,其将存储于所述测定数据存储部的成分浓度的数据以存储于所述测定数据存储部的时刻或测定开始起算的经过时间为指标来图表显示;以及
控制部,其基于从由所述测定部测定的所述显影液的多个特性值及由所述运算部算出的所述显影液的成分浓度中选择的管理对象项目的测定值或算出值,向控制阀发送控制信号,所述控制阀设置在用于输送向所述显影液补给的补充液的管路上。
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