[发明专利]药液的浓度管理装置、再生装置、费用的计算方法及系统

说明书

本发明提供在对用于制造半导体、液晶显示器基板的药液浓度进行管理的服务提供中使用的浓度管理装置及在对药液进行再生处理的服务提供中使用的药液再生装置、及使用这些装置而提供的服务提供所涉及的费用的计算方法及系统。浓度管理装置(1)在补给补充液的配管配备有累计流量计(51～53)。药液再生装置(2)在供给再生药液的配管配备有累计流量计(54)。药液的浓度管理或再生处理的费用基于由累计流量计计测出的规定期间内的累计流量而算出。累计流量计(221～225)具备通信功能而与网络(201)连接。累计流量经由网络由服务器系统(202)接收并存储。服务器系统(202)具备按照每个累计流量计并基于规定期间的累计流量而计算费用的计算部(205)。

技术领域

本发明涉及对在半导体或者液晶显示器基板的制造工序中反复使用的各种药液的浓度进行管理的药液的浓度管理装置、使用浓度管理装置来管理所提供的药液的浓度的服务中的药液的浓度管理费用的计算方法及浓度管理费用计算系统。本发明涉及对在半导体或者液晶显示器基板的制造工序中使用的各种药液进行再生的药液再生装置、使用药液再生装置而使所提供的药液再生的服务中的药液的再生处理费用的计算方法及再生处理费用计算系统。

背景技术

在半导体或者液晶显示器基板的制造工序中，例如，使用有显影液、蚀刻液、剥离液、防带电剂、清洗液等各种药液(以下，在无需具体区别这些药液的情况下将这些药液统一称作“药液”。)。药液被维持管理为根据需要的规定的浓度而使用，以便使其性能最大限度地发挥作用。另外，有时使用后的药液被再生处理为能够再利用而使用。

以往，使用药液的人(以下有时称作“药液使用者”)为了维持管理药液的浓度而购入并使用药液的浓度管理装置。另外，药液使用者为了将使用后的药液再生处理为能够再利用而购入并使用药液的再生处理装置。

例如，作为药液的浓度管理装置而公开有以下的专利文献。在专利文献1中，公开有对显影液的碱浓度和溶解树脂浓度进行管理的显影液浓度管理装置。另外，在专利文献2中，公开有对酸浓度和溶解铟浓度进行管理的蚀刻液管理装置。作为药液的再生处理装置，专利文献3公开有通过精密过滤而使显影废液再生的显影废液的再生处理装置。

在先技术文献

专利文献1：日本专利第2561578号公报

专利文献2：日本专利第2747647号公报

专利文献3：日本特开2005-175118号公报

然而，在像以往那样购入并使用浓度管理装置、药液再生装置的方式中，药液使用者需要购入浓度管理装置、药液再生装置，使这些装置运转并进行维持管理。另外，在以往的方式中，对于制造销售浓度管理装置、药液再生装置的人(以下有时称作“装置销售者”)而言，也只有在装置销售时点才有获得这些装置的回报的机会。

因此，药液使用者必须承担用于购入浓度管理装置、药液再生装置的暂时的巨额费用负担和购入后的运转及维持管理所涉及的各种精力、负担。另外，还存在如下问题：装置销售者若不在有限的市场之中屡次找寻希望购入装置的药液使用者并销售出装置，则难以赚取足够的利益。

发明内容

发明要解决的课题

本发明是鉴于上述的各课题而完成的。发明者提出了提供使用浓度管理装置而管理药液的浓度的服务及使用药液再生装置而对使用后的药液进行再生处理的服务的技术方案。即，本发明的目的在于提供一种能够不使药液使用者承担上述那样的负担而使用药液、并且能够使装置销售者持续赚取收益的、在上述提出的新商业模式中使用的药液的浓度管理装置及药液再生装置、以及对药液的浓度管理或再生处理所涉及的服务的提供费用进行计算的费用计算方法及费用计算系统。

为了达成所述目的，本发明的药液的浓度管理装置利用配管与反复使用药液的设备连接，并经由配管向在设备中使用的药液供给补充液来管理药液的浓度，其中，在配管中配备有累计流量计。