[发明专利]一种Ag纳米颗粒负载ZnO薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种Ag纳米颗粒负载ZnO薄膜的制备方法，其特征在于，包括ZnO薄膜的制备，将制备好的ZnO薄膜与硝酸银溶液混合均匀，进行紫外光光照后得到Ag纳米颗粒负载ZnO薄膜。

2.根据权利要求1所述Ag纳米颗粒负载ZnO薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、制备ZnO籽晶层：将醋酸锌溶液与稳定剂进行反应得到ZnO前驱体溶液；将ZnO前驱体溶液涂覆于衬底基片上后，依次进行滴胶，匀胶，一次预处理，冷却至室温，二次预处理，退火，得到ZnO籽晶层；

S2、制备ZnO薄膜：将ZnO籽晶层与含有锌离子的溶液进行反应，得到薄膜样品；将薄膜样品烘干得到ZnO薄膜；

S3、在ZnO薄膜表面负载Ag纳米颗粒：将ZnO薄膜与硝酸银溶液混合均匀，依次进行紫外光光照、清洗、烘干后得到Ag纳米颗粒负载ZnO薄膜。

3.根据权利要求2所述Ag纳米颗粒负载ZnO薄膜的制备方法，其特征在于，S1中，醋酸锌溶液与稳定剂进行反应的具体操作为：将醋酸锌溶液与稳定剂混合均匀，升温，保温，降温，静置；优选地，保温的温度为40-80℃，时间为1-4h；优选地，保温在搅拌的条件下进行；优选地，静置的温度为室温，时间为20-28h。

4.根据权利要求2或3所述Ag纳米颗粒负载ZnO薄膜的制备方法，其特征在于，S1中，滴胶在1200-1800r/min的转速下进行；优选地，S1中，匀胶在2500-3500r/min的转速下进行；优选地，S1中，一次预处理的温度120-180℃，时间为5-15min；优选地，S1中，二次预处理的温度120-180℃，时间为5-15min；优选地，S1中，退火的温度为400-800℃，时间为2-6h。

5.根据权利要求2-4任一项所述Ag纳米颗粒负载ZnO薄膜的制备方法，其特征在于，S1中，醋酸锌溶液的溶剂为乙二醇甲醚；优选地，S1中，醋酸锌溶液的浓度为0.02-0.06mol/L；优选地，S1中，醋酸锌与稳定剂的质量体积(g/ml)比为6-10：0.5-4.5；优选地，S1中，稳定剂为乙醇胺；优选地，S1中，衬底基片为硅片。

6.根据权利要求2-5任一项所述Ag纳米颗粒负载ZnO薄膜的制备方法，其特征在于，S2中，ZnO籽晶层与含有锌离子的溶液反应的具体操作为：将ZnO籽晶层与含有锌离子的溶液混合后进行水热反应，得到反应物；将反应物冷却至温室后用去离子水洗净，接着在大气的氛围中烘干；优选地，水热反应的温度为70-110℃，时间为4-8h。

7.根据权利要求2-6任一项所述Ag纳米颗粒负载ZnO薄膜的制备方法，其特征在于，S2中，含有锌离子的溶液中锌离子的浓度为0.02-0.06mol/L。

8.根据权利要求1-7任一项所述Ag纳米颗粒负载ZnO薄膜的制备方法，其特征在于，硝酸银溶液的浓度为0.05-0.3mol/L。

9.根据权利要求1-8任一项所述Ag纳米颗粒负载ZnO薄膜的制备方法，其特征在于，紫外光的主波长为200-300nm；优选地，光照的时间为0.5-2h。

10.根据权利要求2-9任一项所述Ag纳米颗粒负载ZnO薄膜的制备方法，其特征在于，S3中，采用去离子水进行清洗。