[发明专利]一种柔性显示器基板及其剥离方法有效
申请号: | 201711236136.2 | 申请日: | 2017-11-30 |
公开(公告)号: | CN107919316B | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 徐向阳 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 柔性 显示器 及其 剥离 方法 | ||
1.一种柔性显示器基板,其特征在于,包括支撑衬底和柔性衬底,所述支撑衬底和所述柔性衬底之间设置有贴合胶层,所述贴合胶层用于将所述柔性衬底粘附在所述支撑衬底上;其中,
所述支撑衬底包括支撑衬底本体以及设置在所述支撑衬底本体内的冷却通道,所述冷却通道可用于在所述柔性显示器基板进行剥离时,向所述冷却通道内通入冷却水,以降低所述柔性显示器基板的温度;
所述支撑衬底具有一支撑面,所述支撑面上设置有所述贴合胶层;其中,所述冷却通道设置在所述支撑衬底内,且紧贴所述支撑面。
2.根据权利要求1所述的柔性显示器基板,其特征在于,所述冷却通道包括多条平行排列的第一通道以及多条用于连接所述第一通道的第二通道。
3.根据权利要求2所述的柔性显示器基板,其特征在于,所述多条平行排列的第一通道沿着所述支撑面延伸的方向均匀铺设。
4.根据权利要求1所述的柔性显示器基板,其特征在于,所述冷却通道为设置在所述支撑衬底本体内的空槽。
5.根据权利要求4所述的柔性显示器基板,其特征在于,所述空槽为平行四边形。
6.根据权利要求1-5任一项所述的柔性显示器基板,其特征在于,所述支撑衬底为钢板或玻璃板。
7.根据权利要求1-5任一项所述的柔性显示器基板,其特征在于,所述支撑衬底上设置有进水口和出水口,所述进水口和出水口均与所述冷却通道连接。
8.一种柔性显示器基板的剥离方法,其特征在于,所述剥离方法包括以下步骤:
提供一柔性显示器基板,所述柔性显示器基板包括:支撑衬底和柔性衬底,所述支撑衬底和所述柔性衬底之间设置有贴合胶层,所述贴合胶层用于将所述柔性衬底粘附在所述支撑衬底上;其中,所述支撑衬底包括支撑衬底本体以及设置在所述支撑衬底本体内的冷却通道,所述支撑衬底具有一支撑面,所述支撑面上设置有所述贴合胶层;其中,所述冷却通道设置在所述支撑衬底内,且紧贴所述支撑面;
向所述冷却通道内通入冷却水,并将所述冷却水保留在所述支撑衬底内,以对所述支撑衬底进行降温。
9.根据权利要求8所述的柔性显示器基板的剥离方法,其特征在于,还包括以下步骤:剥离所述支撑衬底之后,将所述冷却水从所述冷却通道内放出。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造