[发明专利]一种非晶氧化钨薄膜的制备方法有效

专利信息
申请号: 201711239523.1 申请日: 2017-11-30
公开(公告)号: CN108017289B 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 任洋;高赟;周晓歌;赵高扬 申请(专利权)人: 西安理工大学
主分类号: C03C17/34 分类号: C03C17/34
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 胡燕恒
地址: 710048*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 氧化钨 薄膜 制备 方法
【说明书】:

发明公开了一种非晶氧化钨薄膜的制备方法,具体步骤如下:步骤1,将液态烷烃与溶剂混合,在一定温度范围内搅拌,获得溶液A;步骤2,再将WCl6与溶液A混合,搅拌,静置分层,获得分层溶胶B;步骤3,利用分层溶胶B,采用浸渍提拉法在导电玻璃基板上镀凝胶膜,经250~300℃热处理得到非晶WO3薄膜。本发明的制备方法工艺简单、大大提高了薄膜制备效率、降低了成本。

技术领域

本发明属于电致变色薄膜制备技术领域,具体涉及一种非晶氧化钨薄膜的制备方法。

背景技术

非晶氧化钨薄膜(WO3)是一种性能优秀的无机电致变色材料,其可用于制备显示器的显示单元和节能玻璃。在常见的制备技术中,溶胶凝胶是一种工艺简单、组分均匀、可大面积制膜的制备技术。目前,非晶WO3薄膜的溶胶凝胶制备方法主要有两种:第一种,以钨粉为出发原料制备非晶WO3薄膜,该制备方法的优势在于制备环境要求较低,溶胶性能稳定,缺点也十分明显,工艺非常繁琐,不利于控制制备成本;第二种,以WCl6为出发原料制备非晶WO3薄膜,该制备方法的优点为制备工艺过程简单,但由于WCl6易与空气中H2O反应生成极难溶解的钨酸(H2WO4)颗粒,影响溶胶稳定性,所以通常需要控制制备环境湿度,一般需在干燥的惰性气体环境中进行,增加了制备成本。因此,以上两种常用的溶胶凝胶方法,在非晶氧化钨薄膜的工业化应用上受到很大的限制。

发明内容

本发明的目的是提供一种非晶氧化钨薄膜的制备方法,其工艺简单、大大提高了薄膜制备效率、降低了成本。

本发明所采用的技术方案是,一种非晶氧化钨薄膜的制备方法,具体步骤如下:

步骤1,将液态烷烃与溶剂混合,在一定温度范围内搅拌,获得溶液A;

步骤2,再将WCl6与溶液A混合,搅拌,静置分层,获得分层溶胶B;

步骤3,利用分层溶胶B,采用浸渍提拉法在导电玻璃基板上镀凝胶膜,经250~300℃热处理得到非晶WO3薄膜。

本发明的特征还在于,

步骤1中使用的液态烷烃为戊烷或己烷。

步骤1中的溶剂为无水甲醇、无水乙醇、异丙醇的一种,或任意几种以任意比例组成的混合物。

步骤1中,液态烷烃与溶剂的体积比为0.1~0.2:1。

步骤1中搅拌反应的温度为40℃~60℃,搅拌时间为20min。

步骤2中,分层溶胶B中WCl6的摩尔浓度为0.1260mol/L~0.1376mol/L。

步骤3中,镀凝胶膜时分层溶胶B的温度为40℃~60℃。

步骤3中,导电玻璃基板为掺锡的氧化铟、掺锑的氧化锡、掺氟的氧化锡、掺铝的氧化锌中的任意一种。

本发明的有益效果是:

(1)溶胶可在大气环境中长时间放置不变质;

(2)制膜过程也可在大气环境中进行;

(3)制备出的WO3表面光滑,均匀平整;

(4)该方法不仅保证了薄膜质量,而且简化了工艺流程,不需要昂贵的惰性气体及相应设备,大大提高了薄膜制备效率、降低了成本。

附图说明

图1为本发明中实施例1制备的非晶氧化钨薄膜的表面形貌图;

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