[发明专利]静电卡盘产品污染物清洗处理的方法

说明书

技术领域

本发明涉及静电卡盘产品清洗领域。

背景技术

目前国内静电卡盘清洗再生的工艺，除了送到原厂清洗再生处理以外，剩余的产品都委外发往国外处理。随之而来其一的交货周期长，其二所需的费用高，目前面对这种严峻局势亟待处理。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是实现一种针对没有喷涂涂层脱落的静电卡盘产品，通过清洗处理掉静电卡盘表面的污染物，从而达到重复使用效果。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案为：静电卡盘产品污染物清洗处理的方法，包括以下步骤：

步骤1、高压水枪冲洗静电卡盘产品；

步骤2、擦拭静电卡盘产品正面及侧面水分；

步骤3、使用蘸有异丙醇的无尘布擦拭静电卡盘正面及侧面；

步骤4、使用蘸有乙醇的无尘布擦拭静电卡盘正面及侧面；

步骤5、使用蘸有乙醇的无尘布擦拭静电卡盘背面；

步骤6、对静电卡盘进行高压水枪的冲洗；

步骤7、气体吹干静电卡盘产品。

所述步骤1和6水压控制在25-35公斤。

所述步骤1和6高压水枪的枪口距离产品50cm以上。

所述步骤2采用无尘布擦拭掉静电卡盘正面及侧面的水分。

所述步骤3和步骤至少重复两次。

所述步骤7使用2公斤压力的CDA气体吹干静电卡盘产品，气枪枪口离静电卡盘产品50cm以上。

本发明的优点在于清洗步骤简单，但能够在最小的成本下，使静电卡盘产品恢复如初，达到客户重复使用的要求。

附图说明

图1为静电卡盘产品结构示意图。

具体实施方式

高压水枪冲洗产品，水压控制在30公斤左右，枪口出水的距离离产品50cm以上，无尘布擦拭掉静电卡盘正面及侧面的水分，随后使用蘸有异丙醇的无尘布擦拭静电卡盘正面及侧面，后使用蘸有乙醇的无尘布擦拭静电卡盘正面及侧面，经过多次重复擦拭，即可去除掉静电卡盘正面与侧面的污染物及密封胶，随后使用蘸有乙醇的无尘布擦拭静电卡盘背面，所有面清洗干净以后，对静电卡盘进行高压水枪的冲洗，冲洗结束后，使用2公斤压力的CDA气体吹干静电卡盘产品，此时气枪枪口离静电卡盘产品50cm以上，吹干后便可达到客户重复使用的要求。