[发明专利]相移干涉条纹生成系统及其生成方法

权利要求书

1.一种相移干涉条纹生成系统，包括可发射线偏振光的光源，可将所述光源发出光线分设形成为参照光与物体光两束光的分光单元，以及可将参照光与物体光合并的合光单元，其特征在于：所述分光单元与所述合光单元之间形成有参照光传输光路以及物体光传输光路，所述合光单元的光线输出端设置有可使偏振方向不同的参照光和物体光发生干涉以形成干涉条纹的偏振检波器，通过旋转偏振检波器的角度，以产生相移干涉条纹。

2.根据权利要求1所述的相移干涉条纹生成系统，其特征在于：所述偏振检波器包括可将圆偏振光与线偏振光互转的调光单元，以及可透过单一方向偏振光的偏振板，所述调光单元与所述偏振板顺次间隔设置。

3.根据权利要求1或2所述的相移干涉条纹生成系统，其特征在于：所述物体光传输光路包括顺次设置的第一非偏振分光器、透明目标物以及第二非偏振分光器，所述第一非偏振分光器与所述第二非偏振分光器对称设于所述目标物两侧，所述第一非偏振分光器与所述合光单元分别设置于所述分光单元的两个垂直的光线出射端。

4.根据权利要求1或2所述的相移干涉条纹生成系统，其特征在于：所述物体光传输光路包括不透明目标物，所述物体光经过不透明目标物后发生反射。

5.根据权利要求4所述的相移干涉条纹生成系统，其特征在于：所述光源的发出光线路径上设置有平面反射镜，该平面反射镜设置于所述分光单元的一侧，且该侧与所述光源分立两侧，经过平面反射镜的光线反射至所述分光单元。

6.根据权利要求1所述的相移干涉条纹生成系统，其特征在于：所述分光单元与所述合光单元均为偏振分光器。

7.根据权利要求2所述的相移干涉条纹生成系统，其特征在于：所述调光单元为1/4波长板。

8.根据权利要求1所述的相移干涉条纹生成系统，其特征在于：所述光源与所述分光单元之间设置有1/2波长板，以发出具有一定偏振角的线偏振光。

9.一种相移干涉条纹生成方法，基于权利要求1-8中任一项所述相移干涉条纹生成系统，其特征在于：包括以下步骤：

启动相移干涉条纹生成系统；

多次旋转偏振板，使参照光与物体光的相位差形成不同角度，以获得相移干涉条纹图像；

根据获得的相移干涉条纹图像，计算相位值。

10.根据权利要求9所述相移干涉条纹生成方法，其特征在于：在旋转偏振板的步骤中，分四次旋转偏振板，旋转角度相对于初始角度依次为0度、45度、90度和135度，对应的干涉条纹相位变化相对于初始角度的干涉条纹为0度、90度、180度和270度。