[发明专利]一种电弧离子镀引弧针调节装置有效
申请号: | 201711243193.3 | 申请日: | 2017-11-30 |
公开(公告)号: | CN107761061B | 公开(公告)日: | 2019-11-01 |
发明(设计)人: | 王铁钢;林伟;刘源;蔡玉俊;刘艳梅;范其香 | 申请(专利权)人: | 天津职业技术师范大学 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/54 |
代理公司: | 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 | 代理人: | 王海滨 |
地址: | 300222 天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电弧 离子镀 引弧针 调节 装置 | ||
本发明公开了一种电弧离子镀引弧针调节装置,该装置包括主杆、外套筒、弹簧、调节螺柱和引弧针,主杆的一端设置有用于安装调节螺柱的内螺纹孔,调节螺柱安装在该内螺纹孔中,在主杆上设置有用于安装弹簧的阶梯结构,所述外套筒滑动套设在主杆上,弹簧被安装在外套筒内的主杆的阶梯结构上,通过弹簧为外套筒提供沿主杆轴向向调节螺柱端的弹力;在主杆的内螺纹孔的孔壁上开设有一段通槽,引弧针的竖直段安装在通槽中,在弹簧弹力的作用下,引弧针被加持固定在外套筒和调节螺柱之间。当需要调节引弧针与靶面的距离时,旋动调节螺柱,调节螺柱推动引弧针沿通槽长向滑动,引弧针带动外套筒使弹簧压缩,从而实现引弧针位置的连续调整。
技术领域
本发明属于电弧离子镀技术领域,具体涉及一种电弧离子镀引弧针调节装置。
背景技术
在电弧离子镀膜设备镀膜过程中,通过引弧针触碰靶材产生放电进行引弧。镀膜过程中,引弧针位置与靶材表面距离过近,引弧针针尖温度不断升高,持续烧蚀的电弧会使针尖部分熔断,造成灭弧且无法再次起弧,使镀膜过程中断;引弧针位置与靶材距离过远,弧针与靶材之间放电不充分,无法起弧。随着靶材的不断消耗,靶材与引弧针之间的距离在不断地变化,这就需要不断调整引弧针的位置,使弧针与靶材之间放电充分顺利起弧且不会熔断弧针,由于每次靶材消耗程度难以度量,给引弧针位置的调整增加了很大的难度,这就需要一种便于调节的引弧针调节装置。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的不足,提供一种便于调节的电弧离子镀引弧针调节装置。通过该装置能够方便快捷的调整引弧针的位置。
本发明是通过以下技术方案实现的:
一种电弧离子镀引弧针调节装置,该装置包括主杆、外套筒、弹簧、调节螺柱和引弧针,
所述主杆的一端设置有用于连接气缸动作端的内螺纹盲孔,主杆的另一端设置有用于安装调节螺柱的内螺纹孔,所述调节螺柱安装在该内螺纹孔中;在主杆上设置有用于安装弹簧的阶梯结构,所述外套筒滑动套设在主杆上,外套筒的外端设置有内缘,弹簧被安装在外套筒内的主杆的阶梯结构上,且弹簧的一端抵触在主杆的阶梯上,弹簧的另一端抵触在外套筒的内缘上,通过弹簧为外套筒提供沿主杆轴向向调节螺柱端的弹力;
在主杆的内螺纹孔的孔壁上沿主杆轴向开设有一段通槽,引弧针的竖直段安装在通槽中,引弧针能够沿通槽长向(即沿主杆轴向)滑动,在引弧针的竖直段上开设有位置对称的第一凹槽和第二凹槽,第一凹槽用于与外套筒外端配合,第二凹槽用于与调节螺柱终端配合,在弹簧弹力的作用下,外套筒外端顶入引弧针的第一凹槽,且调节螺柱终端顶入引弧针的第二凹槽,从而实现引弧针的固定。
所述电弧离子镀引弧针调节装置的使用方法:
通过主杆右端的内螺纹盲孔将本装置固定在镀膜机的动作气缸的输出杆上,开启镀膜机,由气缸带动本装置往复振动,使引弧针触碰靶材产生放电进行引弧,在工作过程中,由于弹簧具有足够的弹力,所以能够保证引弧针被固定在调节螺柱和外套筒之间;
当需要调节引弧针与靶面的距离时,旋动调节螺柱,调节螺柱推动引弧针,引弧针带动外套筒使弹簧压缩,从而实现引弧针位置的连续调整。
在上述技术方案中,所述引弧针包括竖直段、弯折过度段和水平段,竖直段、弯折过度段和水平段为一体式结构,材质为不锈钢,在水平段的终端内嵌有用于和靶材接触的钼材质的接触针。
在上述技术方案中,通槽沿主杆轴向的长度为1.5-3cm。
本发明的优点和有益效果为:
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