[发明专利]防撞装置、工件台及曝光装置有效
| 申请号： | 201711244615.9 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109856916B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 丛国栋;张志钢;李志龙;刘屈武 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 工件 曝光 | ||
1.一种防撞装置，安装在工件台的边缘，其特征在于，所述防撞装置包括滚轮和转轴组件，所述滚轮套接在所述转轴组件外，所述滚轮能够相对所述工件台转动；
所述转轴组件包括转轴主体和转轴支撑件，所述转轴支撑件设置于所述转轴主体两端，所述滚轮套接在所述转轴主体外；
所述转轴主体和所述转轴支撑件中一个呈刚性，另一个呈柔性，所述滚轮能够绕所述转轴主体转动；或者，所述转轴支撑件能够在所述工件台内轴向转动。
2.如权利要求1所述的防撞装置，其特征在于，所述转轴支撑件与所述转轴主体之间、所述转轴支撑件与所述工件台之间以及所述转轴主体与所述滚轮之间均设置有阻尼结构。
3.如权利要求1所述的防撞装置，其特征在于，所述滚轮包括内轮和套接在所述内轮外的外轮，所述内轮套接在所述转轴主体外，所述外轮与内轮之间的轮辐采用蜂窝状结构或柔性弯曲结构。
4.如权利要求3所述的防撞装置，其特征在于，所述滚轮采用缓冲吸能材料制成。
5.如权利要求4所述的防撞装置，其特征在于，所述缓冲吸能材料包括吸能记忆合金、复合聚酯弹性体或磁流体。
6.一种工件台，其特征在于，所述工件台的边缘设置有至少一个如权利要求1-5中任一项所述的防撞装置。
7.如权利要求6所述的工件台，其特征在于，所述工件台的边缘设置有防撞条。
8.如权利要求7所述的工件台，其特征在于，所述工件台形状包括方形或圆形。
9.如权利要求8所述的工件台，其特征在于，当所述工件台是方形时，所述工件台的四角上设置有防撞装置，所述工件台的侧面设置有防撞条。
10.一种曝光装置，其特征在于，包括如权利要求6-9中任一项所述的工件台。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司，未经上海微电子装备（集团）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201711244615.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：光刻投影物镜、边缘曝光系统和边缘曝光装置
- 下一篇：安全装置、工件台及光刻机
