[发明专利]一种准分子激光器能量探测器的能量值标定系统及方法

权利要求书

1.一种准分子激光器能量探测器的能量值标定方法，其特征在于，所述方法包括：

利用分光镜对准分子激光脉冲进行分光得到透射光及反射光；

利用能量探测器对所述反射光激光脉冲的能量进行采集，并利用标准能量计对所述透射光进行能量值检测；

调整准分子激光器的高压激励改变所述准分子激光脉冲的出光能量，获取在不同出光能量下所述能量探测器得到的峰值电压和所述标准能量计测得的能量值的对应关系；

利用支持向量回归算法对所述对应关系进行处理得到标定模型f(V_pj)；

其中，V_P为激光脉冲的能量值，i和j为不小于1的正整数；为一种低维空间到高维空间的映射关系；和α_j为引入的拉格朗日乘子；

其中，所述能量探测器包括毛玻璃、聚光镜以及光电二极管，所述利用能量探测器对所述反射光激光脉冲的能量进行采集，并利用标准能量计对所述透射光进行能量值检测之前，还包括：

利用所述毛玻璃对所述反射光进行匀化处理；

利用所述聚光镜对匀化处理后的反射光进行聚光，使得反射光收敛到所述光电二极管的接收面内；

所述光电二极管根据接收到的反射光生成脉冲波形，用所述脉冲波形的波形峰值表征所述准分子激光脉冲的能量。

2.根据权利要求1所述的准分子激光器能量探测器的能量值标定方法，其特征在于，所述利用支持向量回归算法对所述对应关系进行处理得到标定模型，包括：

利用MATLAB软件和支持向量回归算法对所述对应关系的处理，通过训练得到的标定模型。

3.根据权利要求1所述的准分子激光器能量探测器的能量值标定方法，其特征在于，所述反射光和所述透射光的光通量比例值是1：19。

4.一种准分子激光器能量探测器的能量值标定系统，其特征在于，包括分光镜、能量探测器、与所述能量探测器电连接的数据采集卡、标准能量计及工控机，所述工控机分别与所述标准能量计和所述数据采集卡电连接，一束准分子激光脉冲照射在所述分光镜上，通过所述分光镜的分光作用形成透射光和反射光，所述标准能量计采集所述透射光的能量值并输出至所述工控机，所述能量探测器采集所述反射光并通过所述数据采集卡将所述反射光的峰值电压输出至所述工控机，所述工控机利用支持向量回归算法所述峰值电压和所述能量值的对应关系进行处理得到标定模型；所述能量探测器包括依次设置的毛玻璃、聚光镜以及光电二极管，所述光电二极管与所述数据采集卡电性连接，所述反射光通过所述毛玻璃进行匀化处理后由所述聚光镜对匀化处理后的反射光进行聚光，使得反射光收敛到所述光电二极管的接收面内，所述光电二极管根据接收到的反射光生成脉冲波形，用所述脉冲波形的波形峰值表征所述准分子激光脉冲的能量。

5.根据权利要求4所述的准分子激光器能量探测器的能量值标定系统，其特征在于，所述分光镜的镜面与所述能量探测器互成45度夹角，所述分光镜的镜面与所述标准能量计互成45度夹角。