[发明专利]柔性显示基板及其制备方法、柔性显示面板及显示装置

权利要求书

1.一种柔性显示基板，包括：

柔性基底，所述柔性基底包括弯曲区域和非弯曲区域，所述弯曲区域包括弯曲边缘和非弯曲边缘，所述非弯曲边缘沿第一方向延伸；以及

设置在所述柔性基底上的弯曲区域中的至少一个晶体管，其中，所述晶体管包括栅极、源极、漏极以及有源层；所述有源层沿大致平行于所述第一方向的方向延伸，

其中，所述至少一个晶体管包括至少一个驱动晶体管，所述至少一个驱动晶体管的有源层至少部分地设置成大体长条形且沿大致平行于所述第一方向的方向延伸，

其中，在所述有源层和所述栅极之间还设置有栅极绝缘层，在柔性基底上还设置有层间绝缘层，所述层间绝缘层包括位于栅极绝缘层上方的子层间绝缘层；所述栅极绝缘层和所述子层间绝缘层中对应于所述晶体管周边的至少一侧形成有凹槽，所述凹槽内未填充有有机材料，所述凹槽贯穿所述子层间绝缘层并延伸到所述栅极绝缘层中，所述凹槽仅延伸穿过栅极绝缘层的一部分，未完全穿过栅极绝缘层，

其中，在所述凹槽的垂直于第一方向的横截面中凹槽的边缘为阶梯形，使得凹槽在子层间绝缘层中的开口宽度大于凹槽在栅极绝缘层中的开口宽度。

2.根据权利要求1所述的柔性显示基板，其中，所述凹槽设置在所述晶体管周边平行于所述第一方向的两侧。

3.根据权利要求1所述的柔性显示基板，其中，所述至少一个晶体管还包括至少一个发射晶体管，所述至少一个发射晶体管的有源层至少部分地设置成大体长条形且沿大致平行于所述第一方向的方向延伸。

4.一种柔性显示面板，包括：

根据权利要求1-3中任一项所述的柔性显示基板。

5.一种柔性显示装置，包括：

根据权利要求4所述的柔性显示面板。

6.一种根据权利要求1-3中任一项所述的柔性显示基板的制备方法，包括：

提供柔性基底，所述柔性基底包括弯曲区域和非弯曲区域，所述弯曲区域包括弯曲边缘和非弯曲边缘，所述非弯曲边缘沿第一方向延伸；以及

在所述柔性基底的弯曲区域形成至少一个晶体管，其中，所述晶体管包括栅极、源极、漏极以及有源层；所述有源层沿大致平行于所述第一方向的方向延伸，

其中，所述至少一个晶体管包括至少一个驱动晶体管，所述至少一个驱动晶体管的有源层至少部分地设置成大体长条形且沿大致平行于所述第一方向的方向延伸，

其中，在所述有源层和所述栅极之间还设置有栅极绝缘层，在柔性基底上还设置有层间绝缘层，所述层间绝缘层包括位于栅极绝缘层上方的子层间绝缘层；所述栅极绝缘层和所述子层间绝缘层中对应于所述晶体管周边的至少一侧形成有凹槽，所述凹槽内未填充有有机材料，所述凹槽贯穿所述子层间绝缘层并延伸到所述栅极绝缘层中，所述凹槽仅延伸穿过栅极绝缘层的一部分，未完全穿过栅极绝缘层，

其中，在所述凹槽的垂直于第一方向的横截面中凹槽的边缘为阶梯形，使得凹槽在子层间绝缘层中的开口宽度大于凹槽在栅极绝缘层中的开口宽度。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其中，

通过采用半色调或灰阶掩模的光刻工艺形成边缘为阶梯形的凹槽。