[发明专利]一种线缆保护装置及光刻设备

权利要求书

1.一种线缆保护装置，所述线缆的一端与气控箱连接，另一端与被控装置连接；其特征在于，所述线缆保护装置包括挡板结构，挡板结构位于线缆与一阻挡物之间，将线缆与阻挡物隔离开，挡板结构与所述气控箱转动连接，当气控箱被推拉时，挡板结构以阻挡物为基点相对滑动；其中，所述挡板结构通过第一铰链结构转动连接在气控箱上，所述的第一铰链结构包括第一壳体及贯穿第一壳体的第一转轴，所述挡板结构通过与第一转轴垂直的第一连接板固定在所述第一转轴的两端，所述第一壳体固定在气控箱上，所述第一转轴可在第一壳体内转动，使得所述挡板结构能够以所述第一转轴为轴转动。

2.根据权利要求1所述的线缆保护装置，其特征在于，所述挡板结构包括可伸缩挡板和线缆挡板，所述可伸缩挡板的一端转动安装在气控箱上，所述可伸缩挡板的另一端与线缆挡板连接，线缆挡板与可伸缩挡板连接的一端转动安装在阻挡物或阻挡物的承载体上，另一端为自由端。

3.根据权利要求2所述的线缆保护装置，其特征在于，所述可伸缩挡板包括N块子挡板，N为不小于2，相邻子挡板之间滑动连接，以调整可伸缩挡板的长度。

4.根据权利要求3所述的线缆保护装置，其特征在于，所述的可伸缩挡板包括第一子挡板、第二子挡板和多段式滑轨，所述多段式滑轨的轨道和滑块分别固定在第一子挡板和第二子挡板上或相反设置，使得第一子挡板与第二子挡板可相对滑动。

5.根据权利要求2所述的线缆保护装置，其特征在于，所述线缆挡板通过第二铰链结构转动连接在阻挡物或阻挡物的承载体上，所述的第二铰链结构包括第二壳体及贯穿第二壳体的第二转轴，所述线缆挡板通过与所述第二转轴垂直的第二连接板固定在所述第二转轴的两端，所述第二壳体固定在阻挡物上或所述第二转轴转动连接在阻挡物的承载体上，所述第二转轴可在第二壳体内转动，使得所述线缆挡板能够以所述第二转轴为轴转动。

6.根据权利要求5所述的线缆保护装置，其特征在于，所述第一壳体通过第一螺栓连接在气控箱上，所述第二壳体通过第二螺栓连接在阻挡物上，所述第一螺栓与第二螺栓垂直设置。

7.根据权利要求5或6所述的线缆保护装置，其特征在于，所述第一壳体通过第一螺栓连接在气控箱上，所述第二壳体通过第二螺栓连接在阻挡物上，所述第一螺栓固定在气孔箱上，所述第一壳体上设有与所述第一螺栓适配的螺纹孔，所述第二螺栓固定在第二壳体上，所述阻挡物上设有与所述第二螺栓适配的螺纹孔。

8.根据权利要求5所述的线缆保护装置，其特征在于，所述第一连接板与所述的第一转轴之间、所述第二连接板与所述的第二转轴之间均采用螺栓连接。

9.根据权利要求2所述的线缆保护装置，其特征在于，所述线缆保护装置还包括复位弹簧，所述的复位弹簧的一端连接在挡板结构上，另一端与所述阻挡物或阻挡物的承载体连接。

10.根据权利要求2所述的线缆保护装置，其特征在于，所述线缆保护装置还包括复位弹簧，所述的复位弹簧的一端连接在挡板结构上，另一端连接在第一铰链结构或气控箱上，且连接点不与第一转轴相交。

11.根据权利要求9或10所述的线缆保护装置，所述的挡板结构一体成型。

12.根据权利要求11所述的线缆保护装置，其特征在于，所述线缆保护装置还包括辅助支撑块，所述的辅助支撑块设置在阻挡物或阻挡物与线缆之间的阻挡物的承载体上，用于支撑挡板结构，并作为挡板结构相对阻挡物滑动的基点。

13.一种光刻设备，其特征在于，采用如权利要求1-12任一所述线缆保护装置以保护连接运动台的线缆在气控箱被推拉时不与相邻阻挡物干涉。