[发明专利]一种真空光学检测系统

权利要求书

1.一种真空光学检测系统，其特征在于，包括空间光学遥感器、低气压模拟装置、干涉仪、用于容纳所述干涉仪的真空容器、用于调整所述空间光学遥感器和所述真空容器的精密调整装置，所述精密调整装置和所述真空容器均容纳于所述低气压模拟装置中，所述低气压模拟装置为具有一开口的封闭容器，所述真空容器与所述开口之间柔性密闭连通，外界大气通过所述开口与所述真空容器连通，所述低气压模拟装置为所述空间光学遥感器提供低气压环境，通过所述精密调整装置调整所述空间光学遥感器与所述真空容器的位置，以使得所述空间光学遥感器的焦面和所述干涉仪的焦面之间按照预设位置关系对准。

2.根据权利要求1所述的真空光学检测系统，其特征在于，还包括真空泵，所述真空泵用于所述低气压模拟装置抽真空。

3.根据权利要求1所述的真空光学检测系统，其特征在于，所述开口和所述真空容器之间设有波纹管，所述波纹管分别与所述开口及所述真空容器密闭连通，所述真空容器通过所述波纹管、所述开口与外界大气连通。

4.根据权利要求1所述的真空光学检测系统，其特征在于，所述真空容器朝向所述空间光学遥感器一侧设有光学窗口，所述干涉仪通过所述光学窗口对所述空间光学遥感器的光学系统波相差进行真空检测。

5.根据权利要求1所述的真空光学检测系统，其特征在于，所述低气压模拟装置为立方体结构的密闭容器。

6.根据权利要求1所述的真空光学检测系统，其特征在于，所述真空容器为桶形结构，所述桶形结构的内部空间大于所述干涉仪的包络尺寸。

7.根据权利要求2所述的真空光学检测系统，其特征在于，所述低气压模拟装置的侧壁上还设有抽气口，所述抽气口可与所述真空泵连通。

8.根据权利要求3所述的真空光学检测系统，其特征在于，所述真空容器上设有法兰，所述法兰与所述波纹管之间通过密封圈密闭连通。

9.根据权利要求8所述的真空光学检测系统，其特征在于，所述端盖与所述容器本体之间采用螺纹连接。

10.根据权利要求9所述的真空光学检测系统，其特征在于，所述端盖和所述容器本体之间还设有密封圈。