[发明专利]一种叠层OLED器件及其制作方法有效
申请号: | 201711258605.0 | 申请日: | 2017-12-04 |
公开(公告)号: | CN108198945B | 公开(公告)日: | 2019-10-15 |
发明(设计)人: | 夏存军 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人: | 潘中毅;熊贤卿 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 正向 叠层 反转 电荷产生层 有机功能层 阳极 阴极 透明绝缘层 像素分辨率 产品良率 空间减少 导电层 三基色 掩膜版 基板 制作 精密 | ||
1.一种叠层OLED器件的制作方法,包括:
在基板上由下至上依次叠层第一正向OLED结构和第一反转OLED 结构,其中,在第一正向OLED结构和第一反转OLED 结构之间设置电荷产生层作为所述第一正向OLED结构和所述第一反转OLED结构的共同阴极,并且使所述第一正向OLED结构中的各有机功能层与所述第一反转OLED结构中的各有机功能层以所述电荷产生层相对称;其具体过程包括:
利用成膜工艺及光刻技术的涂布、曝光、显影工艺,在基板上制备出像素定义层、导电层以及对所述像素定义层和所述导电层进行覆盖的保护层;
利用热蒸发的方式在基板的第一阳极上依次沉积叠层第一正向OLED结构的第一空穴注入层、第一空穴传输层、第一发光层、第一电子传输层、第一电子注入层以及电荷产生层;
在所述电荷产生层上自下依次叠层第一反转OLED结构的第二电子注入层、第二电子传输层、第二发光层、第二空穴传输层、第二空穴注入层、第二透明阳极;
在所述第一反转OLED结构上叠层第二正向OLED结构,并在所述第一反转OLED结构与所述第二正向OLED结构之间设置透明绝缘层;
将所述第一正向OLED结构的阳极与所述第二正向OLED结构的阳极通过导电层相连接。
2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,在基板上由下至上依次叠层第一正向OLED结构和第一反转OLED 结构过程中,蒸镀第二透明阳极使用的掩膜版类型为第二开放式掩膜版,其他各层使用的掩膜版类型为第一开放式掩膜版,在所述第一反转OLED结构上和第二正向OLED结构之间设置透明绝缘层时使用的掩膜版类型为第二开放式掩膜版。
3.根据权利要求2所述的制作方法,其特征在于,在所述第一反转OLED结构上叠层第二正向OLED结构,具体包括:
利用脱膜技术,把覆盖在制备于基板上的像素定义层、导电层上的保护层去除;
利用光刻技术的涂布、曝光、显影工艺,制备一层倒梯形像素定义层;
利用热蒸发的方式,在制备有所述倒梯形像素定义层的结构上制备第三透明阳极;
利用脱膜技术,将所述倒梯形像素定义层除去;
利用热蒸发的方式,在所述第三透明阳极上依次沉积所述第二正向OLED结构的第三空穴注入层、第三空穴传输层、第三发光层、第三电子传输层、第三电子注入层以及透明阴极。
4.根据权利要求3所述的制作方法,其特征在于,蒸镀所述第三透明阳极使用的掩膜版类型为第一开放式掩膜版,蒸镀透明阴极使用的掩膜版类型为第三开放式掩膜版,其他各层使用的掩膜版类型为第一开放式掩膜版。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择