[发明专利]一种叠层OLED器件及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201711258605.0 申请日: 2017-12-04
公开(公告)号: CN108198945B 公开(公告)日: 2019-10-15
发明(设计)人: 夏存军 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L51/50 分类号: H01L51/50;H01L51/56;H01L27/32
代理公司: 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 代理人: 潘中毅;熊贤卿
地址: 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 正向 叠层 反转 电荷产生层 有机功能层 阳极 阴极 透明绝缘层 像素分辨率 产品良率 空间减少 导电层 三基色 掩膜版 基板 制作 精密
【权利要求书】:

1.一种叠层OLED器件的制作方法,包括:

在基板上由下至上依次叠层第一正向OLED结构和第一反转OLED 结构,其中,在第一正向OLED结构和第一反转OLED 结构之间设置电荷产生层作为所述第一正向OLED结构和所述第一反转OLED结构的共同阴极,并且使所述第一正向OLED结构中的各有机功能层与所述第一反转OLED结构中的各有机功能层以所述电荷产生层相对称;其具体过程包括:

利用成膜工艺及光刻技术的涂布、曝光、显影工艺,在基板上制备出像素定义层、导电层以及对所述像素定义层和所述导电层进行覆盖的保护层;

利用热蒸发的方式在基板的第一阳极上依次沉积叠层第一正向OLED结构的第一空穴注入层、第一空穴传输层、第一发光层、第一电子传输层、第一电子注入层以及电荷产生层;

在所述电荷产生层上自下依次叠层第一反转OLED结构的第二电子注入层、第二电子传输层、第二发光层、第二空穴传输层、第二空穴注入层、第二透明阳极;

在所述第一反转OLED结构上叠层第二正向OLED结构,并在所述第一反转OLED结构与所述第二正向OLED结构之间设置透明绝缘层;

将所述第一正向OLED结构的阳极与所述第二正向OLED结构的阳极通过导电层相连接。

2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,在基板上由下至上依次叠层第一正向OLED结构和第一反转OLED 结构过程中,蒸镀第二透明阳极使用的掩膜版类型为第二开放式掩膜版,其他各层使用的掩膜版类型为第一开放式掩膜版,在所述第一反转OLED结构上和第二正向OLED结构之间设置透明绝缘层时使用的掩膜版类型为第二开放式掩膜版。

3.根据权利要求2所述的制作方法,其特征在于,在所述第一反转OLED结构上叠层第二正向OLED结构,具体包括:

利用脱膜技术,把覆盖在制备于基板上的像素定义层、导电层上的保护层去除;

利用光刻技术的涂布、曝光、显影工艺,制备一层倒梯形像素定义层;

利用热蒸发的方式,在制备有所述倒梯形像素定义层的结构上制备第三透明阳极;

利用脱膜技术,将所述倒梯形像素定义层除去;

利用热蒸发的方式,在所述第三透明阳极上依次沉积所述第二正向OLED结构的第三空穴注入层、第三空穴传输层、第三发光层、第三电子传输层、第三电子注入层以及透明阴极。

4.根据权利要求3所述的制作方法,其特征在于,蒸镀所述第三透明阳极使用的掩膜版类型为第一开放式掩膜版,蒸镀透明阴极使用的掩膜版类型为第三开放式掩膜版,其他各层使用的掩膜版类型为第一开放式掩膜版。

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