[发明专利]基于双光路的快速扫描装置及应用其的扫描方法

权利要求书

1.一种基于双光路的快速扫描装置，用于检测被测物体(10)，其特征在于，它包括物镜(1)、数据采集成像单元、辅成像单元、第一分光镜(2)、第二分光镜(3)、第三分光镜(4)、反射光源(5)和透射光源(6)；其中，

当打开透射光源(6)时，所述透射光源(6)发出的光线透过被测物体(10)并照射进物镜(1)后，再经过第一分光镜(2)的透射和第二分光镜(3)的透射后进入数据采集成像单元；

当打开反射光源(5)时，反射光源(5)发出的光线经过第一分光镜(2)的反射进入物镜(1)后照射至被测物体(10)表面上再反射至物镜(1)中，然后经过第一分光镜(2)的透射后进入所述第二分光镜(3)，进入第二分光镜(3)的光经其反射后再经过第三分光镜(4)的反射进入辅成像单元；进入第二分光镜(3)的光还经其透射后进入数据采集成像单元；

打开反射光源(5)，关闭透射光源(6)，利用辅成像单元完成半导体掩膜版的对准操作；打开透射光源(6)，同时关闭反射光源(5)，利用数据采集成像单元完成对半导体掩膜版的数据采集工作；

或者是：打开反射光源(5)，关闭透射光源(6)，利用辅成像单元完成晶圆的对准操作；保持反射光源(5)打开和透射光源(6)关闭的状态，再利用数据采集成像单元完成对晶圆的数据采集工作；

还包括第四分光镜(91)和物镜聚焦控制模块(92)，进入第三分光镜(4)的光还经其透射后，再经过第四分光镜(91)的反射进入物镜聚焦控制模块(92)，所述物镜聚焦控制模块(92)与所述物镜(1)控制连接，以便所述物镜聚焦控制模块(92)根据第四分光镜(91)反射的光所形成的图像调节物镜(1)的高度。

2.根据权利要求1所述的基于双光路的快速扫描装置，其特征在于：所述数据采集成像单元包括数据采集相机(71)和数据采集筒镜(72)，所述数据采集筒镜(72)和所述数据采集相机(71)沿着光路方向依次设置。

3.根据权利要求2所述的基于双光路的快速扫描装置，其特征在于：所述数据采集相机(71)为线阵相机。

4.根据权利要求1所述的基于双光路的快速扫描装置，其特征在于：所述辅成像单元包括辅成像相机(81)和辅筒镜(82)，所述辅筒镜(82)和所述辅成像相机(81)沿着光路方向依次设置。

5.根据权利要求4所述的基于双光路的快速扫描装置，其特征在于：所述辅成像相机(81)为面阵相机。

6.一种应用如权利要求1至5中任一项所述的基于双光路的快速扫描装置的扫描方法，其特征在于所述方法用于检测半导体掩膜版，方法的步骤中含有：

(a)将半导体掩膜版置于透射光源(6)和物镜(1)之间；

(b)打开反射光源(5)，关闭透射光源(6)，利用辅成像单元完成半导体掩膜版的对准操作；

(c)对准操作完毕后，打开透射光源(6)，同时关闭反射光源(5)，利用数据采集成像单元完成对半导体掩膜版的数据采集工作。

7.一种应用如权利要求1至5中任一项所述的基于双光路的快速扫描装置的扫描方法，其特征在于所述方法用于检测晶圆，方法的步骤中含有：

(a)将晶源置于透射光源(6)和物镜(1)之间；

(b)打开反射光源(5)，关闭透射光源(6)，利用辅成像单元完成晶圆的对准操作；

(c)对准操作完毕后，保持反射光源(5)打开和透射光源(6)关闭的状态，再利用数据采集成像单元完成对晶圆的数据采集工作。