[发明专利]一种多晶硅电池组件抛光液及其制备方法

说明书

本发明提出了一种多晶硅电池组件抛光液及其制备方法。多晶硅电池组件抛光液以质量百分比计，包括：1％～10％的甲基丙烯酸‑2，3‑环氧丙基酯、0.5％～5％的碱性磷酸酶、1％～10％的苯甲酸、0.5％～5％的马来酸酐。制备方法包括：分别通过预处理苯甲酸及马来酸酐以提高苯甲酸及马来酸酐的纯度；以上述组份中的比例精密混合甲基丙烯酸‑2，3‑环氧丙基酯、碱性磷酸酶、苯甲酸及马来酸酐；采用多级循环膜过滤经精密混合的甲基丙烯酸‑2，3‑环氧丙基酯、碱性磷酸酶、苯甲酸及马来酸酐；分装获得制品。采用本发明可以获得较高纯度多晶硅电池组件抛光液，以提高硅片的效能。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种多晶硅电池组件抛光液及其制备方法。

背景技术

目前电子化学品一般是指为电子工业配套的专用化学品，本项目电子化学品主要包括集成电路和分立器件用化学品、晶体硅太阳能用化学品和平板显示用化学品等，其具有质量要求高、功能性强、对生产及使用环境洁净度要求高和产品更精纯。

近几年，中国集成电路行业随着产品由低端向高端延伸发展的新阶段，产业规模大幅提高，以国际国内知名企业如中芯国际、海力士、台积电、华润微电子等为代表的集成电路电路企业已经将中国挤身到国际主要的微电子制造大国。目前，在全世界太阳能绿色能源产业的带动下，我国的太阳能产业发展迅猛，中国已经成为全球第一大光伏产品生产国。在《可再生能源中长期发展规划》发布后，未来将进入全速发展期。中国TFT-LCD产业的发展之路，主要有以下几点因素。第一，上游产业的发展和突破。第二，产业核心技术和关键技术开发能力的提升，特别是自主能力的提升。第三，投资环境和产业配套政策的完善，关于上游等其他的一些配套政策的出台及投资环境的改善，会吸引上游整个产业链的形成。第四，产业规模的形成和扩大。第五，产业相关人才的培养。在这几方面发展的前提条件下才有可能共同努力，打造具有整体竞争力的中国TFT-LCD产业。以上种种形势表明我国在太阳能、IC、TFT-LCD等行业的发展迎来新一轮的发展，与之相配套的超高纯法电子化学品——超净高纯试剂、光刻胶及其配套试剂也迎来了新的机遇和挑战。

有鉴于此，如何设计一种多晶硅电池组件抛光液，以减少金属的比例，提高多晶硅电池组件抛光液的纯度，从而提高硅片的性能，是业内人士亟需解决的问题。

发明内容

本发明目的是针对现有技术存在的缺陷提供一种多晶硅电池组件抛光液及其制备方法。

本发明为实现上述目的，采用如下技术方案：一种多晶硅电池组件抛光液，其中，以质量百分比计，包括：1％～10％的甲基丙烯酸-2，3-环氧丙基酯；

0.5％～5％的碱性磷酸酶；

1％～10％的苯甲酸；以及

0.5％～5％的马来酸酐。

优选的，所述苯甲酸的质量浓度大于99％，所述苯甲酸中的金属含量小于1ppb。

优选的，所述马来酸酐的质量浓度大于99％，所述马来酸酐中的金属含量小于1ppb。

根据本发明的另一个方面，提供了一种上述多晶硅电池组件抛光液的制备方法，其中，包括以下步骤：(a)分别通过预处理苯甲酸及马来酸酐以提纯所述苯甲酸及所述马来酸酐；

(b)以权利要求1至3任一项所述的多晶硅电池组件抛光液的比例精密混合所述甲基丙烯酸-2，3-环氧丙基酯、所述碱性磷酸酶、所述苯甲酸及所述马来酸酐；以及

(c)采用多级循环膜过滤所述步骤(b)中的所述甲基丙烯酸-2，3-环氧丙基酯、所述碱性磷酸酶、所述苯甲酸及所述马来酸酐；以及

(d)分装获得制品。

优选的，所述步骤(a)中，包括：

(a1)将所述苯甲酸和所述马来酸酐分别经过高效精馏、离子交换；