[发明专利]反射折射光学系统、照明光学系统、曝光装置

权利要求书

1.一种反射折射光学系统，是在物面以及像面作为远心光路的反射折射光学系统，所述反射折射光学系统的特征在于，包括：

第1反射面、第2反射面、第3反射面以及第4反射面；以及

具有正的屈光力的折射面，该折射面被配置于所述物面与所述第1反射面之间，

所述反射折射光学系统是仅在所述像面具有成像面的1次成像的光学系统，

从所述物面出来的光依次经由所述折射面、所述第1反射面、所述折射面、所述第2反射面、所述折射面、所述第3反射面、所述第4反射面到达所述像面。

2.根据权利要求1所述的反射折射光学系统，其特征在于，

所述折射面由1个透镜构成。

3.根据权利要求1所述的反射折射光学系统，其特征在于，

所述折射面由至少两个透镜构成。

4.根据权利要求1所述的反射折射光学系统，其特征在于，

在所述物面与所述第1反射面之间配置有包括所述折射面的两个折射面。

5.根据权利要求1所述的反射折射光学系统，其特征在于，

在从所述物面到达所述像面的光的光路中的所述物面与所述像面之间不具有成像面。

6.根据权利要求1所述的反射折射光学系统，其特征在于，

具有所述正的屈光力的折射面具有非球面形状。

7.根据权利要求1所述的反射折射光学系统，其特征在于，

所述第1反射面、所述第2反射面、所述第3反射面以及所述第4反射面中的至少1个反射面具有非球面形状。

8.根据权利要求1所述的反射折射光学系统，其特征在于，

从所述物面射出的光的行进方向与入射到所述像面的光的行进方向相同。

9.根据权利要求1所述的反射折射光学系统，其特征在于，

所述反射折射光学系统的光瞳位置位于所述第1反射面与所述第2反射面之间。

10.根据权利要求1所述的反射折射光学系统，其特征在于，

所述反射折射光学系统在所述物面的附近以及所述像面的附近中的至少一方还包括非球面透镜，该非球面透镜用于校正远心性。

11.根据权利要求1所述的反射折射光学系统，其特征在于，

形成于在所述物面与所述第1反射面之间配置的折射面的光学膜的种类与形成于在所述第2反射面与所述第3反射面之间配置的折射面的光学膜的种类相互不同。

12.一种反射折射光学系统，是在物面以及像面作为远心光路的反射折射光学系统，所述反射折射光学系统的特征在于，包括：

第1反射面、第2反射面、第3反射面以及第4反射面；以及

具有正的屈光力的折射面，该折射面被配置于所述物面与所述第1反射面之间，

从所述物面出来的光依次经由所述折射面、所述第1反射面、所述折射面、所述第2反射面、所述折射面、所述第3反射面、所述第4反射面到达所述像面，

关于所述具有正的屈光力的折射面，在将3次匹兹阀项设为P(L1)、将所述反射折射光学系统的整体的3次匹兹阀和设为P(sum)时，满足

|P(sum)||P(L1)|。