[发明专利]多自由度光学精密调节台

权利要求书

1.一种多自由度光学精密调节台，其特征在于，包括：

调节台主体，其包括由上至下依次设置的第一转板、第二转板、第一滑板、第二滑板、第三转板和底板；

θz方向舵机组件，用于驱动所述第一转板绕Z轴方向转动，其包括θz方向舵机、θz方向调节机构和设置于所述第一转板和第二转板之间的第一弧形导轨机构；

θy方向舵机组件，用于驱动所述第二转板绕Y轴方向转动，其包括θy方向舵机和θy方向调节机构；

X方向舵机组件，用于驱动所述第一滑板沿X方向运动，其包括X方向舵机和X方向调节机构；

Z方向舵机组件，用于驱动所述第二滑板沿Z方向运动，其包括Z方向舵机和Z方向调节机构；

θx方向舵机组件，用于驱动所述第三转板绕X轴方向转动，其包括θx方向舵机、θx方向调节机构和设置于所述第三转板和底板之间的第二弧形导轨机构；

所述θz方向调节机构包括固接于所述第二转板上的第一螺母座、一端与所述θz方向舵机的输出端连接另一活动端配合插设在所述第一螺母座上开设的第一螺母孔内的第一螺丝及固接在所述第一转板上的第一承接座，所述第一螺丝的活动端上固接有第一顶球，所述第一承接座上开设有供所述第一顶球配合插入的第一卡孔，所述第一顶球可旋转卡设在所述第一卡孔内；

所述第二转板通过转轴组件连接于所述第一滑板上，所述第二转板和第一滑板之间设置有第二保持架，所述第二保持架内填充有第二钢球，所述第二转板上设置有第一锁紧螺丝；所述θy方向调节机构包括固定在所述第一滑板上的第二螺母座、一端与所述θy方向舵机的输出端连接另一活动端配合插设在所述第二螺母座上开设的第二螺母孔内的第二螺丝及固接在所述第二转板上的第二承接座；所述第二螺丝的活动端上固接有第二顶球，所述第二承接座上固接有与所述第二顶球配合顶接的弧形承接板；所述第二承接座上还固接有另一端与所述第一滑板连接的第一回程弹簧。

2.根据权利要求1所述的多自由度光学精密调节台，其特征在于，所述第一弧形导轨机构包括固接在所述第二转板上且上表面呈弧形的第一下导轨、可滑动设置在所述第一下导轨上且底面呈弧形的第一上滑块、设置在所述第一上滑块和第一下导轨之间的呈弧形的第一保持架及填充于所述第一保持架内的第一钢球；所述第一上滑块与所述第一转板固接。

3.根据权利要求2所述的多自由度光学精密调节台，其特征在于，所述第一弧形导轨机构侧部设置有第一锁紧机构，所述第一锁紧机构包括固接于所述第二转板上且上表面呈弧形的第一下锁紧块、固接在所述第一转板上且下表面呈弧形的第一上锁紧块及设置在所述第一上锁紧块和第一下锁紧块之间且底面呈弧形的第一弧形贴片，所述第一上锁紧块上开设有用于容纳所述第一弧形贴片的第一开孔。

4.根据权利要求3所述的多自由度光学精密调节台，其特征在于，所述第一滑板可滑动设置于所述第二滑板上，所述第一滑板和第二滑板之间设置有第三保持架，所述第三保持架内填充有第三钢球；所述第一滑板上设置有第二锁紧螺丝；所述X方向调节机构包括固接在所述第二滑板上的第三螺母座及一端与所述X方向舵机的输出端连接另一活动端配合插设在所述第三螺母座上开设的第三螺母孔内的第三螺丝，所述第三螺丝上固接有第三顶球，所述第三顶球与所述第一滑板的侧端顶贴；所述第一滑板和第二滑板之间连接有第二回程弹簧。

5.根据权利要求4所述的多自由度光学精密调节台，其特征在于，所述第二滑板可滑动设置于所述第三转板上，所述第二滑板和第三转板之间设置有第四保持架，所述第四保持架内填充有第四钢球，所述第二滑板上设置有第三锁紧螺丝；所述Z方向调节机构包括固接在所述第三转板上的第四螺母座及一端与所述Z方向舵机的输出端连接另一活动端配合插设在所述第四螺母座上开设的第四螺母孔内的第四螺丝，所述第四螺丝上固接有第四顶球，所述第四顶球与所述第二滑板的侧端顶贴；所述第二滑板和所述第三转板之间连接有第三回程弹簧。