[发明专利]探针卡装置及其信号转接模块

说明书

本发明公开一种探针卡装置及其信号转接模块，所述信号转接模块包含转接板及多个导电缓冲体。转接板包含有多个电性接点，并且每个电性接点包含有凹槽。多个导电缓冲体分别安装于多个电性接点的凹槽内，并且每个导电缓冲体具有50微米以下的一弹性压缩量。于每个电性接点及相对应导电缓冲体中，所述凹槽能用以提供探针可移动地插设并压迫于导电缓冲体，以通过导电缓冲体，而使探针与电性接点保持电性连接。

技术领域

本发明涉及一种检测装置，尤其涉及一种探针卡装置及其信号转接模块。

背景技术

如图1所示，现有的探针卡装置100a是以多个探针2a的一端连接于转接板1a上的呈突出状的多个电性接点11a，但由于上述多个探针2a所存在着长度上的公差以及转接板1a上的多个电性接点11a在高度上的公差，使得所述多个探针2s另一端的共面度不佳，进而影响到现有探针卡装置100a对于待测物的量测精准度。

于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

发明内容

本发明实施例在于提供一种探针卡装置及其信号转接模块，其能有效地改善现有探针卡装置所可能产生的缺陷。

本发明实施例公开一种探针卡装置，包括一信号转接模块、一定位座体及多个矩形探针。信号转接模块包含有一转接板以及多个导电缓冲体，转接板包含有一板面及位于所述板面的多个电性接点，并且每个所述电性接点包含有一凹槽；多个导电缓冲体分别安装于多个所述电性接点的所述凹槽内，并且每个所述导电缓冲体具有一弹性压缩量；定位座体对应设置于多个所述电性接点的一侧；多个矩形探针设置于所述定位座体，并且每个所述矩形探针包含有位于相反两侧且穿出所述定位座体的一第一接触段与一第二接触段；其中，多个所述矩形探针的所述第一接触段分别可移动地插设于多个所述电性接点的所述凹槽内；其中，于每个所述矩形探针、相对应所述电性接点及相对应所述导电缓冲体中，所述导电缓冲体受压迫地抵接于所述第一接触段以及所述凹槽的一槽底，以通过所述导电缓冲体，而使所述矩形探针与所述电性接点保持电性连接；其中，每个所述第一接触段与相对应所述电性接点的相对位置能在所述弹性压缩量内被调整，以使多个所述矩形探针的所述第二接触段末端缘彼此对齐；其中，所述弹性压缩量为50微米(μm)以下。

优选地，每个所述第一接触段与相对应的所述电性接点能在一相对位移量内保持彼此接触，以使每个所述第一接触段与相对应所述电性接点的相对位置能在所述相对位移量内被调整；其中，所述相对位移量小于所述弹性压缩量、并且为10微米以下。

优选地，于每个所述矩形探针及相对应所述导电缓冲体中，所述导电缓冲体的弹性模量大于所述矩形探针的弹性模量，并且所述导电缓冲体的所述弹性模量为65GPa以上，而所述矩形探针的所述弹性模量为60GPa以上。

优选地，于每个所述矩形探针及相对应所述导电缓冲体中，所述导电缓冲体的导电率大于等于所述矩形探针的导电率，并且所述矩形探针的所述导电率为4x10⁴S·m^-1以上。

优选地，于每个所述电性接点及相对应所述导电缓冲体中，所述凹槽形成有一限位部，以使所述导电缓冲体嵌设于所述凹槽内。

优选地，所述弹性压缩量进一步限定为5微米以下。

本发明实施例另公开一种探针卡装置的信号转接模块，包括一转接板和多个导电缓冲体。转接板包含有一板面及位于所述板面的多个电性接点，并且每个所述电性接点包含有一凹槽；多个导电缓冲体分别安装于多个所述电性接点的所述凹槽内，并且每个所述导电缓冲体具有一弹性压缩量；其中，于每个所述电性接点及相对应所述导电缓冲体中，所述凹槽能用以提供一探针可移动地插设并压迫于所述导电缓冲体，以通过所述导电缓冲体，而使所述探针与所述电性接点保持电性连接；其中，所述弹性压缩量为50微米以下。