[发明专利]金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法

权利要求书

1.一种金属板的制造方法，该金属板通过形成2个以上贯通孔而用于制造蒸镀掩模，其中，

所述蒸镀掩模的所述贯通孔通过对所述金属板进行蚀刻而形成，

所述金属板的制造方法具备下述工序：

轧制工序，对母材进行轧制以得到具有厚度t₀的所述金属板；和

退火工序，将所述金属板退火以除去所述金属板的内部应力，

所述金属板具有第1面和第2面，该第1面和第2面相对于所述金属板的厚度方向正交、且互为相向，

对从所述退火工序后的所述金属板中取得的样品进行蚀刻，测定蚀刻后的样品的翘曲的曲率k，基于所得到的曲率k的值，实施金属板的筛选，选出曲率k的值为0.008mm^-1以下的金属板，

所述曲率k为如下求出的值：首先，从所述退火工序后的所述金属板中取得长170mm、宽30mm的所述样品，接着，将所述样品中的除长度方向的两端起10mm以内的区域以外的长150mm、宽30mm的区域作为被蚀刻区域，从所述第1面侧在所述样品的被蚀刻区域的整个区域对所述样品进行蚀刻，直至所述被蚀刻区域的厚度达到1/3×t₀以上且2/3×t₀以下的范围内，其后，将蚀刻后的所述样品按照其侧面为水平的方式载置于预定的载置台上后，向载置台施加振动，接着，测定所述样品的所述被蚀刻区域的长度方向的端部间距离x(mm)和所述样品的所述被蚀刻区域的翘曲的深度y(mm)，其后，将所述端部间距离x和所述深度y代入下式，由此求出所述曲率k，

k＝1/ρ、ρ＝(y/2)+(x²/8y)，

所述母材含有因瓦合金材料。

2.如权利要求1所述的金属板的制造方法，其中，在长度方向拉伸所述金属板的同时，实施所述退火工序。

3.如权利要求1所述的金属板的制造方法，其中，在所述金属板卷取于芯材上的状态下实施所述退火工序。

4.如权利要求1～3任一项所述的金属板的制造方法，其中，所述母材的热膨胀系数为与基板的热膨胀系数同等的值，该基板上隔着由所述金属板制造的蒸镀掩模而成膜有蒸镀材料。

5.一种蒸镀掩模的制造方法，该蒸镀掩模具备形成有2个以上贯通孔的有效区域、和位于所述有效区域的周围的周围区域，其中，该制造方法包括下述工序：

准备金属板的工序，该金属板具有厚度t₀，具有第1面和第2面，该第1面和第2面相对于所述金属板的厚度方向正交、且互为相向；和

凹部形成工序，在该工序中，从所述第1面侧对所述金属板进行蚀刻，在用于形成所述有效区域的所述金属板的区域内从第1面侧形成用于划出所述贯通孔的凹部；

对从退火工序后的所述金属板中取得的样品进行蚀刻，测定蚀刻后的样品的翘曲的曲率k，基于所得到的曲率k的值，实施金属板的筛选，选出曲率k的值为0.008mm^-1以下的金属板，

所述曲率k为如下求出的值：首先，从所述金属板中取得长170mm、宽30mm的所述样品，接着，将所述样品中的除长度方向的两端起10mm以内的区域以外的长150mm、宽30mm的区域作为被蚀刻区域，从所述第1面侧在所述样品的被蚀刻区域的整个区域对所述样品进行蚀刻，直至所述被蚀刻区域的厚度达到1/3×t₀以上且2/3×t₀以下的范围内，其后，将蚀刻后的所述样品按照其侧面为水平的方式载置于预定的载置台上后，向载置台施加振动，接着，测定所述样品的所述被蚀刻区域的长度方向的端部间距离x(mm)和所述样品的所述被蚀刻区域的翘曲的深度y(mm)，其后，将所述端部间距离x和所述深度y代入下式，由此求出所述曲率k，

k＝1/ρ、ρ＝(y/2)+(x²/8y)，

所述金属板含有因瓦合金材料。

6.如权利要求5所述的蒸镀掩模的制造方法，其中，在所述凹部形成工序中，从所述第1面侧在所述第1面的整个区域对所述金属板进行蚀刻。